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吸附式机械手能否实现多片掩膜版连续搬运?

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安田丰技术(江苏)有限公司2026-06-30

机械手本体每次执行一片掩膜版的抓取与释放动作。若要实现连续搬运,需要配合具有多个缓存位的自动化系统或由机械臂在不同工位间往复运动来完成。设备的单次动作节拍可以适应连续生产的要求。

安田丰技术(江苏)有限公司
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简介:安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料,服务于AR和半导体行业,致力于提供高性能、高效率的解决方案
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