光掩膜版吸附式机械手可以用于倒片装置吗？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-06-30

可以集成于光掩膜版倒片机中，用于将掩膜版从片盒内取出并翻转。机械手本身的吸附功能不受倒片动作影响，但翻转过程中的加速度变化需要计入吸附力设定中，确保掩膜版在朝向变化时仍被可靠抓取。

本回答由 安田丰技术（江苏）有限公司 提供

安田丰技术（江苏）有限公司

简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

类似问题

企业信息

安田丰技术（江苏）有限公司

联系人：王经理

手机： 18862175008

地址：

江苏省苏州市虎丘区盐城经济技术开发区希望大道南路5号软件园4幢1103-4室