在半导体芯片的失效分析和可靠性研究中,温度分布往往是**关键的参考参数之一。由于芯片结构高度集成,任何局部的异常发热都可能导致电性能下降,甚至出现器件击穿等严重问题。传统的接触式测温方法无法满足高分辨率与非破坏性检测的需求,而热红外显微镜凭借其非接触、实时成像的优势,为工程师提供了精细的解决方案。通过捕捉芯片表面微小的红外辐射信号,热红外显微镜能够清晰还原器件的热分布情况,直观显示出局部过热、散热不均等问题。尤其在先进制程节点下,热红外显微镜帮助研发团队快速识别潜在失效点,为工艺优化提供可靠依据。这一技术不仅***提升了检测效率,也在保障器件长期稳定性和安全性方面发挥着重要作用。热红外显微镜应用:在电子行业用于芯片热失效分析,准确定位芯片局部过热区域,排查电路故障。福建热红外显微镜

与传统的 emmi 相比,thermal emmi 在检测复杂半导体器件时展现出独特优势。传统 emmi 主要聚焦于光信号检测,而 thermal emmi 增加了温度监测维度,能更***地反映缺陷的物理本质。例如,当芯片出现微小短路缺陷时,传统 emmi 可检测到短路点的微光信号,但难以判断短路对器件温度的影响程度;而 thermal emmi 不仅能定位微光信号,还能通过温度分布图像显示短路区域的温升幅度,帮助工程师评估缺陷对器件整体性能的影响,为制定修复方案提供更***的参考。直销热红外显微镜24小时服务Thermal EMMI 通过对比正常与失效器件的热光子图谱,界定热致失效机理。

在半导体芯片的研发与生产全流程中,失效分析(FailureAnalysis,FA)是保障产品可靠性与性能的重要环节。芯片内部的微小缺陷,如漏电、短路、静电损伤等,通常难以通过常规检测手段识别,但这类缺陷可能导致整个芯片或下游系统失效。为实现对这类微小缺陷的精确定位,苏州致晟光电科技有限公司研发的ThermalEMMI热红外显微镜(业界也称之为热发射显微镜),凭借针对性的技术能力满足了这一需求,目前已成为半导体工程师开展失效分析工作时不可或缺的设备。
在半导体IC裸芯片的研发与检测过程中,热红外显微镜是一种不可或缺的分析工具。裸芯片内部结构高度紧凑、集成度极高,即便出现微小的热异常,也可能对性能产生不良影响,甚至引发失效。因此,建立精确可靠的热检测手段显得尤为重要。热红外显微镜能够以非接触方式实现芯片热分布的成像与分析,直观展示芯片在运行状态下的温度变化。通过识别局部热点,工程师可以发现潜在问题,这些问题可能来源于电路设计缺陷、局部电流过大或器件老化等因素,从而在早期阶段采取调整设计或改进工艺的措施。
在芯片短路故障分析中,Thermal EMMI 可快速定位电流集中引发的高温失效点。

作为国内半导体失效分析设备领域的原厂,苏州致晟光电科技有限公司(简称“致晟光电”)专注于ThermalEMMI系统的研发与制造。与传统热红外显微镜相比,ThermalEMMI的主要差异在于其功能定位:它并非对温度分布进行基础测量,而是通过精确捕捉芯片工作时因电流异常产生的微弱红外辐射,直接实现对漏电、短路、静电击穿等电学缺陷的定位。该设备的重要技术优势体现在超高灵敏度与微米级分辨率上:不仅能识别纳瓦级功耗所产生的局部热热点,还能确保缺陷定位的精细度,为半导体芯片的研发优化与量产阶段的品质控制,提供了可靠的技术依据与数据支撑。热红外显微镜应用于光伏行业,可检测太阳能电池片微观区域的热损耗,助力提升电池转换效率。福建热红外显微镜
热红外显微镜探测器:量子阱红外探测器(QWIP)响应速度快,适用于高速动态热过程(如激光加热瞬态分析)。福建热红外显微镜
此外,致晟光电自主研发的热红外显微镜thermal emmi还能对芯片内部关键半导体结点的温度进行监测,即结温。结温水平直接影响器件的稳定运行和使用寿命,过高的结温会加速性能衰减。依托其高空间分辨率的热成像能力,热红外显微镜不仅能够实现结温的精确测量,还能为研发人员提供详尽的热学数据,辅助制定合理的散热方案。借助这一技术,工程师能够在芯片研发、测试和应用各环节中掌握其热特性,有效提升芯片的可靠性和整体性能表现。 福建热红外显微镜