在失效分析的有损分析中,打开封装是常见操作,通常有三种方法。全剥离法会将集成电路完全损坏,留下完整的芯片内部电路。但这种方法会破坏内部电路和引线,导致无法进行电动态分析,适用于需观察内部电路静态结构的场景。局部去除法通过特定手段去除部分封装,优点是开封过程不会损坏内部电路和引线,开封后仍可进行电动态分析,能为失效分析提供更丰富的动态数据。自动法则是利用硫酸喷射实现局部去除,自动化操作可提高效率和精度,不过同样属于破坏性处理,会对样品造成一定程度的损伤。
热红外显微镜对集成电路进行热检测,排查内部隐藏故障 。中波热红外显微镜

热红外显微镜在半导体IC裸芯片热检测中发挥着关键作用。对于半导体IC裸芯片而言,其内部结构精密且集成度高,微小的热异常都可能影响芯片性能甚至导致失效,因此热检测至关重要。热红外显微镜能够非接触式地对裸芯片进行热分布成像与分析,清晰捕捉芯片工作时的温度变化情况。它可以定位芯片上的热点区域,这些热点往往是由电路设计缺陷、局部电流过大或器件老化等问题引起的。通过对热点的检测和分析,工程师能及时发现芯片潜在的故障风险,为优化芯片设计、改进制造工艺提供重要依据。同时,该显微镜还能测量裸芯片内部关键半导体结点的温度,也就是结温。结温是评估芯片性能和可靠性的重要参数,过高的结温会缩短芯片寿命,影响其稳定性。热红外显微镜凭借高空间分辨率的热成像能力,可实现对结温的测量,帮助研发人员更好地掌握芯片的热特性,从而制定合理的散热方案,提升芯片的整体性能与可靠性。国产热红外显微镜规格尺寸在半导体制造中,通过逐点热扫描筛选热特性不一致的晶圆,提升良率。

热红外是红外光谱中波长介于 3–18 微米的谱段,其能量主要来自物体自身的热辐射,而非对外界光源的反射。该波段可细分为中红外(3–8 μm)、长波红外(8–15 μm)和超远红外(15–18 μm),其热感应本质源于分子热振动产生的电磁波辐射,辐射强度与物体温度正相关。在应用上,热红外利用大气窗口(3–5 μm、8–14 μm)实现高精度的地表遥感监测,并广泛应用于热成像、气体探测等领域。现代设备如 TIRS-2 和 O-PTIR 等,已将热红外技术的空间分辨率提升至纳米级水平。
RTTLIT P10 热红外显微镜在光学配置上的灵活性,可通过多种可选物镜得以充分体现,为不同尺度、不同场景的热分析需求提供精细适配。
Micro 广角镜头擅长捕捉大视野范围的整体热分布,适合快速定位样品宏观热异常区域,如整片晶圆的整体散热趋势观测;0.2X 镜头在保持一定视野的同时提升细节捕捉能力,可用于中等尺寸器件(如传感器模组)的热行为分析,平衡效率与精度;0.4X 镜头进一步聚焦局部,能清晰呈现芯片封装级的热分布特征,助力排查封装缺陷导致的散热不均问题;1X 与 3X 镜头则聚焦微观尺度,1X 镜头可解析芯片内部功能模块的热交互,3X 镜头更是能深入到微米级结构(如晶体管阵列、引线键合点),捕捉纳米级热点的细微温度波动。
热红外显微镜可实时监测电子设备运行中的热变化,预防过热故障 。

热红外显微镜(Thermal EMMI)技术,作为半导体失效分析领域的关键手段,通过捕捉器件内部产生的热辐射,实现失效点的精细定位。它凭借对微观热信号的高灵敏度探测,成为解析半导体故障的 “火眼金睛”。然而,随着半导体技术不断升级,器件正朝着超精细图案制程与低供电电压方向快速演进:线宽进入纳米级,供电电压降至 1V 以下。这使得失效点(如微小短路、漏电流区域)产生的热量急剧减少,其辐射的红外线信号强度降至传统检测阈值边缘,叠加芯片复杂结构的背景辐射干扰,信号提取难度呈指数级上升。
评估 PCB 走线布局、过孔设计对热分布的影响,指导散热片、导热胶的选型与 placement。IC热红外显微镜品牌
分析倒装芯片(Flip Chip)、3D 封装(TSV)的层间热传导异常,排查焊球阵列、TSV 通孔的热界面失效。中波热红外显微镜
近年来,非制冷热红外显微镜价格呈下行趋势。在技术进步层面,国内红外焦平面阵列芯片技术不断突破,像元间距缩小、阵列规模扩大,从早期的 17μm、384×288 发展到如今主流的 12μm 像元,1280 ×1 024、1920 × 1080 阵列规模实现量产,如大立科技等企业推动技术升级,提升生产效率,降低单台设备成本。同时,国产化进程加速,多家本土厂商崛起,如我司推出非制冷型锁相红外显微镜,打破进口垄断格局,市场竞争加剧,促使产品价格更加亲民。中波热红外显微镜