氦质谱检漏仪的工作原理是对离子源电离的氦气分子数量进行量化,而到达质谱室离子源的氦气分子数量只是泄漏的分子总量的一部分,这就是分流比。在环境参数变化时,这个分流比会有变化,检漏仪根据内置漏孔1个点做出的拟合曲线很难做到符合全量程:例如一台检漏仪的内置漏孔是E-7mbarL/s,说明这台检漏仪在接近E-7mbarL/s的漏率区间如[E-6,E-8]是可能准确的,可能到E-9就很不准确。建议用2个标准漏孔对氦质谱检漏仪进行标定。事实上,包括很多主流检漏仪厂家Z初都是不提供内置漏孔自检的,而是用户购置接近自己工件要求漏率的标准漏孔进行标定。如待测工件合格漏率要求为2.50x10-8mbar.L/s,Z好是购置一个接近该漏率的标准漏孔如3.00x10-8mbar.L/s,经过校准的检漏仪不需要自检通过也能准确的判断产品是否合格。建议用户在选购外置标准漏孔,尽量接近产品合格要求漏率,东贝真空可以提供从E-2到E-12mbarL/s的标准漏孔。用户可选用带气室的标准漏孔或开放式漏孔。标准漏孔在半导体制造检漏中经常使用。苏州通道型漏孔
不同的气体对于标准漏孔的泄漏率有着一定影响,通常校准以氮气或氦气为介质,实际使用时需要根据检测气体的性质来进行修正,提高检测结果的准确性。标准漏孔的安装方式应该符合操作规程,以确保连接紧密、无额外的泄漏,避免因安装不当影响校准或者检测结果。部分漏孔的设计有专属接口,方便与不同设备对接。随着检漏技术的发展,标准漏孔的性能不断提升,出现了可调节泄漏率、智能化监控等新型产品,满足了更复杂场景下的计量需求。重庆卤素漏孔稳定性标准漏孔需详细记录每次使用的相关情况。
上海东贝真空设备有限公司座落于:上海市青浦开发区上海市青浦工业园区,联东U谷科技园。通过长期以来的贴心服务本公司积累了一些良好的客户关系,我们是一家正在成长的年轻企业,真诚地感谢所有的新老客户的信任和关照。公司技术能力包括:建立了齐全的漏率校准和检测能力,漏率计量标准装置的设计制造能力,为国内计量技术机构提供成熟的漏率计量标准装置.实现了目前目前已知漏孔形式的产品制造能,为检漏客户提供专业的标准漏孔产品.本公司建立了专业的漏率计量实验室并通过”国家实验室合格认可委”考核的CNAS实验室授权(注册号:CNASL20566).
检漏仪内置标准漏孔是检漏仪部件中非常重要的一个组成部分,与检漏仪的精确度息息相关,检漏仪器在检测的过程中是用来校准其精度的一种标准漏率。通过来比较检漏仪对这些标准漏孔进行检测时的响应值与实际尺寸上的差异,可以评估检漏仪的检测准确度和它的稳定性,在检漏仪的检测过程中,由于受到了环境、物质等各种因素的影响,检漏仪的检测结果可能会出现误差。此时若采用标准漏孔进行校准,便可以提高检测仪器的准确性和可靠性。标准漏孔的漏率范围可满足不同检测需求 。
通道型漏孔属于实漏型漏孔,漏孔元件是物理节流的漏气通道,对所有的气体成分都能通过,一般使用纯气体,以便得到所要求的气体的漏率,本产品的VTL-B型为真空漏孔,是一种在真空技术和泄漏检测中广泛应用的装置,它设计用于产生已知且恒定的气体泄漏率,以便在测试过程中提供准确和可重复的参考。这种漏孔通常由特定材料制成,包含一个精确的微孔或通道,允许气体以恒定的速率泄漏。标准漏孔的主要应用包括泄漏检测设备的校准、质量控制和过程监控、以及研究和开发等领域。标准漏孔使用时有明确的温度范围限制 。武汉全系列标准漏孔的漏率
标准漏孔能辅助判断检漏仪的工作状态。苏州通道型漏孔
气泡检漏法气泡法是出现比较早的检漏方法,以其操作简单,成本低廉而得到广泛应用。其原理是当漏孔两侧存在压差时,气体就会通过泄漏点从高压侧向低压侧流动,如果将被测件放入液体中,将会出现气泡,通过观察气泡产生位置可以确定泄漏点位置,通过收集气体或者数气泡的方法测量漏率。使泄漏点两侧产生压差的方法有三种:充气法,热槽法和抽真空法。充气法首先向被检件中冲入气体,使其压力上升到规定值,然后将被检件放入液体中,观察气泡。这样的检测结果很大程度上取决于测试者本人的判断,而且光凭气泡很难确定出泄漏率的大小。同时这些方法还可能带来另外一些问题,如对被测物进行拆卸,清洗,烘干,涂防锈漆等额外工作。苏州通道型漏孔