常州气密性标准漏孔尺寸

JJF 1946-2022 《卤素检漏仪校准规范》,规范条文解释：本规范适用于可检漏率为（1.0×10-6 ~1.0×10-4）Pa.m3/s的卤素检漏仪的校准，其他制冷剂的检漏仪也可以参考本规范执行。解释：与目前卤素检漏仪校准用标准器（卤素标准漏孔）的可溯源范围相适应，待发布的正压漏孔校准规范使用范围（10-6~10-4）Pa.m3/s，与检漏仪的实际测量范围（1-10）g/a对应。测量标准：测量标准为提供某种特定卤素气体的已知漏率的卤素标准漏孔，如表所示，卤素标准漏孔应具有定位槽以便于检漏仪定位。解释：通常配备多个标准漏孔，一个标准漏孔对应一种示漏气体，根据被校检漏仪选择相应的标准漏孔。漏孔大小直接决定泄漏量及影响程度。常州气密性标准漏孔尺寸

温度对于标准漏孔的性能有着明显的影响，多数的漏孔需在规定的温度范围内来使用，以保证泄漏率的稳定性。部分高精度漏孔会配备温度补偿装置，从而减少环境温度波动的影响。标准漏孔的校准需要依托正规计量机构，通过与更高等级的标准装置来比对，确定其实际泄漏率，并出具校准证明，确保量值的溯源性。长期存放的标准漏孔需注意防潮、防尘，避免通道堵塞或材料老化。使用前应检查外观是否完好，必要时进行重新校准，确保性能符合要求。杭州卤素标准漏孔应用漏孔是影响设备密封性的常见问题之一。

氦质谱检漏仪的工作原理是对离子源电离的氦气分子数量进行量化，而到达质谱室离子源的氦气分子数量只是泄漏的分子总量的一部分，这就是分流比。在环境参数变化时，这个分流比会有变化，检漏仪根据内置漏孔1个点做出的拟合曲线很难做到符合全量程：例如一台检漏仪的内置漏孔是E-7mbarL/s，说明这台检漏仪在接近E-7mbarL/s的漏率区间如[E-6,E-8]是可能准确的，可能到E-9就很不准确。建议用2个标准漏孔对氦质谱检漏仪进行标定。事实上，包括很多主流检漏仪厂家Z初都是不提供内置漏孔自检的，而是用户购置接近自己工件要求漏率的标准漏孔进行标定。如待测工件合格漏率要求为2.50x10-8mbar.L/s,Z好是购置一个接近该漏率的标准漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，经过校准的检漏仪不需要自检通过也能准确的判断产品是否合格。建议用户在选购外置标准漏孔，尽量接近产品合格要求漏率，东贝真空可以提供从E-2到E-12mbarL/s的标准漏孔。用户可选用带气室的标准漏孔或开放式漏孔。

标准漏孔的校准周期需根据使用情况确定，频繁使用或在恶劣环境下工作的漏孔，校准周期应适当缩短，一般建议不超过一年，以保证量值的可靠性。不同结构的标准漏孔对安装角度有不同要求，部分漏孔需水平或垂直安装，以避免重力对气体流动产生影响。安装时需参照说明书，确保姿态符合规范。标准漏孔的外壳通常采用金属材料，具有良好的抗压和耐温性能，可适应工业现场的复杂环境。外壳表面一般会标注型号、标称泄漏率等关键信息，方便识别与使用。标准漏孔使用前需检查外观是否完好 。

检漏仪内置标准漏孔的优点是漏率稳定：检漏仪自带的渗氦漏孔，温度系数一般为3.0%~4.0%/℃，由于天气原因不同的温差，以及检漏仪内部开机前后内部相对封闭环境的温度变化等，均会对漏孔的漏率影响相对较大，而且渗氦漏孔的稳定时间非常长，通常来说是需要几个小时的，这必然会造成检漏仪上的偏差； 上海东贝真空采用的是微通道毛细管技术它的温度补偿小于0.3%/℃，可以忽略温度补偿（温度变化10℃漏率变化相当于渗氦漏孔变化1℃）。标准漏孔能为各类检漏结果提供可靠依据。杭州非标漏孔应用

标准漏孔在半导体制造检漏中经常使用。常州气密性标准漏孔尺寸

氦气真空标准漏孔真空漏孔的选用主要包括以下几个技术指标：漏率值和示漏气体：主要由检漏工艺和需求决定，说明的是在检漏仪内置漏孔一般为2×10-8Pa.m3/s的氦漏率。漏孔泄漏方式，主要分为渗氦型和通道型。一般渗氦型漏孔主要用作带氦气室，并且氦气漏率在（10-10～10-7）Pa.m3/s的标准漏孔，检漏仪内置漏孔大多采用该型号。通道型漏孔相对渗氦型漏孔，应用会更广，特别是非标定制的模拟漏孔。还具有可以用高压容器，温度系数小等优势。是否带氦气/氢氮混合气室。主要由标准漏孔使用方式决定。带氦气室具有漏率稳定/恒定的特点，而不带氦气室往往用作模拟漏孔，模拟允许漏率指标的被检工件，用来保证检漏系统的定量需求。接口方式和外形尺寸，是指气源加压端接口和漏气端接口。主要根据漏孔使用方式确定。常州气密性标准漏孔尺寸

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