云南全系列漏孔范围

氦质谱检漏仪的工作原理是对离子源电离的氦气分子数量进行量化，而到达质谱室离子源的氦气分子数量只是泄漏的分子总量的一部分，这就是分流比。在环境参数变化时，这个分流比会有变化，检漏仪根据内置漏孔1个点做出的拟合曲线很难做到符合全量程：例如一台检漏仪的内置漏孔是E-7mbarL/s，说明这台检漏仪在接近E-7mbarL/s的漏率区间如[E-6,E-8]是可能准确的，可能到E-9就很不准确。建议用2个标准漏孔对氦质谱检漏仪进行标定。事实上，包括很多主流检漏仪厂家Z初都是不提供内置漏孔自检的，而是用户购置接近自己工件要求漏率的标准漏孔进行标定。如待测工件合格漏率要求为2.50x10-8mbar.L/s,Z好是购置一个接近该漏率的标准漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，经过校准的检漏仪不需要自检通过也能准确的判断产品是否合格。建议用户在选购外置标准漏孔，尽量接近产品合格要求漏率，东贝真空可以提供从E-2到E-12mbarL/s的标准漏孔。用户可选用带气室的标准漏孔或开放式漏孔。标准漏孔使用前需检查接口及外观完好性。云南全系列漏孔范围

检漏方法：人们对于泄漏的检测很早就已经出现，检漏方法也经历了从简单的定性检测到现代复杂的定量检测过程。检漏方法根据被检设备所处的状态又可分为加压检漏法和真空检漏法。加压检漏法将被检件内部充以比外部压力更高的示踪气体，在被检件外面用适当的方法判断有无示踪气体漏出、从哪儿漏出、漏出量多少等，进而判断被检件有无泄漏点，泄漏点的位置和大小。属于这种方法的有压降法、气泡法、卤素检漏仪外探头法、卤素喷灯法、加压渗透法、声波法、红外线热图像法、称质量法、放射性同位素法。真空检漏法被检件内部抽成真空后，将示踪气体施于被检件外部，如果被检件器壁上有漏，示踪气体通过泄漏点进入被检件内部，利用某种方法将漏进的示踪气体检测出来，从而判断出泄漏点的位置和漏率大小。属于这种方法的有静态升压法、放电管法、卤素检漏仪内探头法、各类真空计法、离子泵检漏法、氦质谱喷吹和氦罩检漏法等。常州正压标准漏孔尺寸标准漏孔能验证各类检漏方法的可靠性。

冷媒标准漏孔(可调漏率)VTL-20B型 ，漏孔元件为微通道毛细管，其漏率或校准精度0.1g/a，漏率范围：（0～10）g/a，支持客户指定漏率或年泄漏量定制，如1g/a，2.5g/a，5g/a，…，也可以指定其他漏率单位， 如Pa·m3/s(≥5×10-6 Pa·m3/s)， 大漏率10~100g/a亦可定制。 使用方法： 通过增压或减压阀旋钮，调节到校准点的对应的漏率，气瓶规格：双罐设计，液态+气态，一次充注，长期使用，其优点漏率稳定、漏率可调、可重复充灌、使用成本低、便于携带等

气密性标准漏孔的原理是利用节流效应来实现气体的泄漏。具体来说，当气体通过漏孔时，由于孔径的限制和节流效应的作用，气体的流量是会受到一定的限制，从而实现气体上的泄漏。通过来调节漏孔的大小和孔径，可以控制气体的泄漏速率和流量，从而模拟出不同的气体泄漏情况。可做正压/真空标准漏孔、响应速度快，等待时间短、受外界温度变化影响小，温度系数小于0.5%/℃、耐高温，耐冲击，抗震，抗摔，寿命长、支持定制多种规格接头，可配置不同品牌设计、漏率范围广，支持漏率定制，支持同时指定漏率和压力。标准漏孔在半导体制造检漏中经常使用。

正压漏孔指在一定气源压力下出气口压力为大气压力的条件下校准和使用的漏孔，代表性的漏孔有卤素检漏用卤素标准漏孔（卤素气体漏率标准器），还有氢气校准漏孔。该类漏孔目前应用场合和校准需求要高于一类真空漏孔。主要因为正压检漏往往更符合工件和产品的实际工作状态，越来越被重视。被检容器内压力在1.013×105Pa,容器内气体分子多,压力受温度影响大。压力的变化不正压检漏技术与真空检漏技术相比，具有被检件不用抽真空、工作状态和检漏状态可保持一致等特点，同时也带来了新的问题。标准漏孔老化会导致漏率发生明显变化 。福建通道型标准漏孔压力

标准漏孔使用后需清洁并妥善保存备用 。云南全系列漏孔范围

标准漏孔是漏率溯源标准的总称。根据不同应用行业，不同检漏仪器类型漏孔种类繁多，分类方式也多种多样。漏率范围也从微漏率10-13Pa.m3/s的氦标准漏孔到做泄漏标准用的10NL/min空气压差漏孔,范围宽广。标准漏孔按照对应检漏仪种类来分：真空氦漏孔，冷媒正压漏孔，空气压差漏孔等，分别对应氦质谱检漏仪，卤素（冷媒）检漏仪，压差检漏仪等。按照漏孔元件类型可以分为:渗(氦)透型漏孔,通道型漏孔.其中渗透型漏孔主要用于真空氦漏孔,有玻璃,四氟乙烯等材料.通道型漏孔如金属毛细管、拉伸的玻璃毛细管、金属压扁管、粉末烧结和微孔板等.按照漏孔结构和应用又可以分为有源漏孔和无源漏孔.也可以分为定值漏孔和可调漏孔.所以标准漏孔种类繁多,针对每个产品应用领域都要满足具体的技术要求和应用场景.本公司长期致力于提供所有检漏需要的溯源标准(标准漏孔)的解决方案和产品服务.云南全系列漏孔范围

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