六维力传感器输出的多路信号会存在耦合现象,算法处理环节需要针对该现象开展对应校正。当单一方向施加外力,六维力传感器六个输出通道都会出现数值波动,并非只有受力对应通道产生响应。耦合来源于弹性体本身结构特...
MEMS 传感器的微结构加工工艺把控,会改变器件对于微小力学输入的感知响应能力。MEMS 力学传感器依靠硅片刻蚀得到微型弹性感知结构,光刻、刻蚀、薄膜沉积等工序都会作用微结构终形态。刻蚀深度出现偏差,...
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