多探头阵列配置通过在检测机内集成 4-8 个分布式光谱共焦探头，实现晶圆厚度的同步多点测量，采样点密度提升至传统单探头的 6 倍，...

随着新能源汽车行业的快速发展，电池制造的精度要求日益严苛，影像仪成为电池部件检测的关键装备。在锂电池极片生产中，极片的厚度均匀度、...

展望未来，晶圆搬送机将朝着更高精度、更高效率、更智能化、更绿色化的方向发展，不断涌现新的技术创新。在精度方面，将引入更先进的定位技...

设备环境适配性较强，可适应半导体车间的常规生产环境。半导体生产车间多为恒温恒湿的洁净空间，但作业过程中难免存在轻微气流波动、微光环...

晶圆搬送机的软件系统具备良好的可扩展性，通过软件升级可不断拓展设备功能，适应半导体产业的技术发展与生产需求变化。设备的控制系统采用...