Thermal和EMMI是半导体失效分析中常用的两种定位技术,主要区别在于信号来源和应用场景不同。Thermal(热红外显微镜)通过红外成像捕捉芯片局部发热区域,适用于分析短路、功耗异常等因电流集中引...
在半导体IC裸芯片的研发与检测过程中,热红外显微镜是一种不可或缺的分析工具。裸芯片内部结构高度紧凑、集成度极高,即便出现微小的热异常,也可能对性能产生不良影响,甚至引发失效。因此,建立精确可靠的热...
在半导体芯片的失效分析和可靠性研究中,温度分布往往是**关键的参考参数之一。由于芯片结构高度集成,任何局部的异常发热都可能导致电性能下降,甚至出现器件击穿等严重问题。传统的接触式测温方法无法满足高分辨...
红外线介于可见光和微波之间,波长范围0.76~1000μm。凡是高于jd零度(0 K,即-273.15℃)的物质都可以产生红外线,也叫黑体辐射。 由于红外肉眼不可见,要察觉这种辐射的存在并测...
在微光显微镜(EMMI)的操作过程中,对样品施加适当电压时,其失效点会由于载流子加速散射或电子-空穴对复合效应而发射特定波长的光子。这些光子经过光学采集与图像处理后,可形成一张清晰的信号图,用于反映样...
致晟光电的EMMI微光显微镜依托公司在微弱光信号处理领域技术,将半导体器件在通电状态下产生的极低强度光信号捕捉并成像。当器件内部存在PN结击穿、漏电通道、金属迁移等缺陷时,会释放特定波长的光子。致晟光...
随着国内半导体产业的快速发展,Thermal EMMI 技术正逐步从依赖进口转向自主研发。国产 Thermal EMMI 设备不仅在探测灵敏度和分辨率上追平甚至超越部分国际产品,还在适配本土芯片工艺、...
锁相红外热成像系统仪器作为实现精细热检测的硬件基础,其重要构成部件经过严格选型与集成设计。其中,红外探测器采用制冷型碲镉汞(MCT)或非制冷型微测辐射热计,前者在中长波红外波段具备更高的探测率,适用于...
尤其在先进制程芯片研发过程中,锁相红外热成像系统能够解析瞬态热行为和局部功耗分布,为优化电路布局、改善散热方案提供科学依据。此外,该系统还可用于可靠性评估和失效分析,通过对不同环境和工况下器件的热响应...
在工业生产与设备运维中,金属构件内部微小裂纹、复合材料层间脱粘等隐性缺陷,往往难以通过目视、超声等传统检测手段发现,却可能引发严重的安全事故。锁相红外热成像系统凭借非接触式检测优势,成为工业隐性缺陷检...