本实用新型涉及真空设备领域，尤其涉及一种真空反应腔室和真空镀膜设备。背景技术：目前，真空设备，例如，pecvd（plasmaenhancedchemicalvaporde****ition，等离子体增强化学气相沉积）和pvd（physicalvaporde****ition，物宝来利相沉积）设备已被广泛应用于各种产品的生产过程中，如光伏电池、半导体器件等等。真空设备中(如pecvd设备、pvd设备)的宝来利真空反应室通常为单个反应腔室，传动部件和升降部件等机械模块部件以及溅射靶材等工艺模块部件均设置于该单个反应腔室内，这就造成反应腔室内的工艺环境不够封闭，容易造成工艺环境污染。另外，设置单...

1. 真空镀膜设备：让汽车外观更亮丽耀眼的秘密武器！ 2. 提升汽车质感的必备装备：真空镀膜设备***！ 3. 超越传统，开启汽车颜值新时代的真空镀膜设备！ 4. 汽车外观护航，真空镀膜设备的神奇效果揭秘！ 5. 真空镀膜设备：让你的爱车瞬间焕发新生！ 6. 汽车外观美容新概念，真空镀膜设备助力！ 7. 汽车外观护理的新**，真空镀膜设备震撼上市！ 8. 解锁汽车外观新境界，真空镀膜设备**风潮！ 9. 倾心打造汽车外观艺术，真空镀膜设备助力实现！ 10. 真空镀膜设备：让你的爱车成为街头焦点！宝来利新能源汽车真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，细腻有光泽，有需要可以来咨询！江苏热蒸发真空镀膜...

宝来利离子镀膜机具有多项优势和特点，为企业带来了许多好处。以下是一些描述宝来利离子镀膜机的宣传语： 1. 高效降低生产成本，助力企业迈向产业升级 2. 创新科技宝来利离子镀膜机，打造***产品，宝来利行业潮流 3. 高效节能，为企业带来可观利润增长 4. 提升产品质量，赢得市场口碑的高质量宝来利离子镀膜机 5. 独特工艺，产品更耐用，市场竞争力倍增的宝来利离子镀膜机 6. 先进技术宝来利离子镀膜机，高效生产，提升企业竞争力 7. 环保节能，助力企业可持续发展的宝来利离子镀膜机 8. 提升生产效率，降低人工成本的高效宝来利离子镀膜机 9. 创新技术，产品品质更稳定，用户满意度提升的宝来利离子镀膜...

进一步地，所述第二底板内和所述第二侧壁内均设有用于穿设温控管的通道，所述温控管埋设于所述通道内。一种真空镀膜设备，包括机械模块部件、工艺模块部件和本实用新型所述的真空反应腔室，所述工艺模块部件位于所述内反应腔内，部分所述机械模块部件位于所述外腔体内。本实用新型实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下***：本实用新型提供的真空反应腔室，包括用于提供真空环境的外腔体，以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔；并且，内反应腔的侧壁上设有自动门，工件自外腔体经自动门进入内反应腔中。其中，外腔室和内反应腔为嵌套结构，其内反应腔位于外腔室内。该结构中，相当于设置了两个腔室，其中外腔体用...