以专门作为工艺反应的内反应腔20。宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12、第二底板21和第二侧壁22均可由金属材料组成,其中,第二底板21和第二侧壁22则优先选用热传导效果较好的金属材料组成,例如可选不锈钢或铝合金等材料。除上述结构形式外,外腔体10和内反应腔20还可以共用一个底板,真空镀膜设备用一圈隔离板对外腔体10进行分割即可。但为了将内反应腔20的空间尽可能地缩小到所需范围,且真空镀膜设备大限度地降低非必要的空间,该实施方式中设置了宝来利真空底板11和第二底板21相互分离的设置结构,以在垂直方向上缩小内反应腔20的空间。其中,宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12和密封盖板30三者相互密闭连接共同构成了与外部大气隔离的具有封闭结构的外腔体10。而内反应腔20则位于该外腔体10之内,但是第二侧壁22与密封盖板30之间并未形成封闭式接触,两者之间属于分离式设计结构。该结构也就使得外腔体10与内反应腔20之间在仍属于相互连通的结构构造,用该结构可以将真空设备中的部分构件分离,将工艺过程中非必要的机械结构部件设置于外腔体10中,而与工艺反应相关的结构部件设置于内反应腔20中。在工艺反应过程中,由于工艺反应区的压力要大于外腔体10中的压力。 品质真空镀膜设备,请选丹阳市宝来利真空机电有限公司,有需要可以电话联系!浙江钟表首饰真空镀膜设备厂家直销
因此可以有效减少工艺原料的浪费,降低原料的使用成本,提高原料的利用率。同时,由于工艺反应区的减少,可以有效控制该区域内的温度,使该区域内的工艺温度更易于均匀化,进而提高工艺质量。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本实用新型的实施例,并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,对于本领域普通技术人员而言,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实用新型一种实施方式的真空反应腔室的结构示意图;图2为图1所示结构中的剖视结构示意图;图3为设置于第二底板底部的温控管的结构示意图。图标:10-外腔体;11-宝来利真空底板;12-宝来利真空侧壁;13-传送装置;20-内反应腔;21-第二底板;22-第二侧壁;23-自动门;30-密封盖板;40-温控管;41-恒温控制器。具体实施方式为使本实用新型实施例的目的、技术方案和***更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然。 硬质涂层真空镀膜设备工厂直销宝来利真空镀膜设备性能稳定,膜层均匀耐磨,有需要可以咨询!
电磁铁122顶出磁片223,顶盖22离开出气管11口,空气及粉尘从出气管11排出,当顶盖22的动触点224与静触点123接触时,气缸53通电,伸出伸缩轴,利用空气压力将挤压管52中的水喷出,粉尘遇水沉降落入沉降管51底部,镀膜机1内达到相应的真空度时,反方向按下开关13,电磁铁122在换向器的作用下电流改变,磁极改变,产生与磁片223相反的磁极,电磁铁122与磁片223相吸,此时真空泵4断电,动、静触点断开,气缸53断电,顶盖22紧紧地盖在出气管11口上。上述实施例中,开关13为双向开关,往一方向按下时,真空泵4与电磁铁122均通电,往另一方向按下时,真空泵4断电,电磁铁122在换向器的作用下电流方向发生改变,产生相反的磁极。在进一步的实施例中,结合图2可得,宝来利真空连接套12远离镀膜机1一侧设有宝来利真空安装位121;宝来利真空安装位121位于出气管11两侧;宝来利真空安装位121内固定有电磁铁122;顶盖22靠近镀膜机1一侧设有第二安装位222;第二安装位222与宝来利真空安装位121位置相对应;第二安装位222内固定有磁片223;电磁铁122与磁片223分别通过胶水固定在宝来利真空安装位121以及第二安装位222中;利用磁铁“同极相斥、异极相吸”的原理,控制顶盖22的关闭和打开。
提升了清理效率。附图说明图1为本实用新型结构示意图。图2为本实用新型的结构示意俯视图。图中:1控制箱、2前罐体、3后罐体、4清理装置、41通孔、42喷头、43刮板、44u形架、5驱动装置、51半圆槽、52半圆板、53转轴通孔、54减速电机、55防护罩、6泵、7集料盒、71出料口、72外螺管、73收集盒、8清洗箱。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1、图2,本实用新型提供一种技术方案:一种磁控溅射真空镀膜机,包括控制箱1,控制箱1的上表面后侧固定安装后罐体3,后罐体3的前表面铰接有前罐体2,后罐体3的前表面上侧固定安装有驱动装置5,驱动装置5,驱动装置5的下侧安装有清理装置4,清理装置4包括u形架44,u形架44的下端通过轴承转动安装在后罐体3的内部下侧,u形架44的外侧固定安装有刮板43,刮板43的外侧与后罐体3、前罐体2的内表面紧密贴合,后罐体3和前罐体2的上表面外侧均匀开设有通孔41。 品质医疗仪器真空镀膜设备,请选丹阳市宝来利真空机电有限公司,有需要可以来咨询考察!
通过上述说明可知,温控管40的设置形式多种多样,本实用新型并不限制温控管40的具体设置形式,例如可以按照上述温控管40缠绕并固定的形式,也可以按照在第二侧壁22或第二底板21上安装水套或设通道的形式,只要求保证使用时温控管40可耐压耐温不出现渗漏或漏电现象即可。另一方面,本实用新型一种实施方式的真空镀膜设备,包括机械模块部件、工艺模块部件和实施例一的真空反应腔室,所述工艺模块部件位于所述内反应腔20内,部分所述机械模块部件位于所述外腔体10内。该真空镀膜设备包括本实用新型的真空反应腔室,因此,该真空镀膜设备具有上述真空反应腔室的全部***,在此不再赘述。其中,设置于外腔体10内的部分机械模块部件为与工艺反应无关的一些传动机械部件、升降机械部件等等,另一部与工艺反应相关的机械部件,如镀膜靶材的转动部件等等则设置于内反应腔20中。具体的,可以根据真空镀膜设备的具体结构而定。该真空镀膜设备中,由于真空反应腔室设计成内外腔结构,同时,通过设置温控装置,可以有效地保证工艺环境封闭、恒温、外部污染源少,为工艺反应提供了更为稳定、纯净的环境。通过实际实验证明,反应区域温度环境更均匀。 拥有专利的工件架技术,转速平稳可调,具有产量大,效率高,产品良品率高等特点 中频磁控镀膜设备溅射。上海锅胆镀钛真空镀膜设备厂商
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