精确的厚度控制：真空镀膜设备可以通过精确控制镀膜时间、蒸发速率、气体流量等参数，实现对膜层厚度的精确控制，能够满足不同应用场景对膜层厚度的严格要求。比如在电子芯片制造中，需要在芯片表面镀上厚度精确的金属膜或介质膜来实现特定的电学性能，真空镀膜设备可以将膜层厚度控制在纳米级精度。优异的附着力：由于真空环境下基体表面清洁度高，且镀膜粒子具有较高的能量，使得膜层与基体之间能够形成良好的结合力，膜层不易脱落。例如在刀具表面镀膜，高附着力的膜层可以在刀具切削过程中保持稳定，发挥其耐磨、润滑等性能，延长刀具使用寿命。宝来利真空镀膜设备品质好，工艺先进，操作智能化，设备获得广大用户一致好评。上海灯管真空镀膜...

卷绕式镀膜设备适用于柔性基材（如塑料薄膜、金属箔）的连续镀膜，广泛应用于包装、电子、建筑等领域。光学镀膜设备专为光学元件（如镜头、滤光片）设计，可实现多层介质膜、增透膜、反射膜等高精度镀膜。硬质涂层镀膜设备针对工具、模具表面强化，制备高硬度、耐磨、耐腐蚀涂层（如TiAlN、CrN）。装饰镀膜设备用于手表、首饰、五金件表面装饰，可实现金色、玫瑰金、黑色等高光泽、耐磨损镀层。 应用领域扩展：电子行业：半导体芯片、集成电路、柔性显示屏镀膜。光学行业：激光反射镜、滤光片、AR/VR光学元件镀膜。能源行业：太阳能电池减反膜、氢燃料电池电极镀层。生物医疗：生物相容性涂层、药物缓释膜制备。 磁控溅...

蒸发镀膜设备电阻蒸发镀膜机：通过电阻加热使靶材蒸发，适用于低熔点金属薄膜沉积。电子束蒸发镀膜机：利用电子束轰击靶材，实现高纯度、高熔点材料蒸发，广泛应用于光学镀膜。溅射镀膜设备磁控溅射镀膜机：通过磁场约束电子，提高溅射效率，适用于大面积、高均匀性薄膜制备，如太阳能电池、光学膜。多弧离子镀膜机：利用电弧放电产生等离子体，实现高离化率镀膜，适用于硬质涂层（如TiN、TiCN）。射频溅射镀膜机：采用射频电源激发气体放电，适用于绝缘材料镀膜。离子镀膜设备空心阴极离子镀：通过空心阴极放电产生高密度离子流，实现高速、致密镀膜，适用于耐磨、耐腐蚀涂层。电弧离子镀：结合电弧放电与离子轰击，适用于超硬涂层（如金...

镀膜适应性强：可镀材料多样：可以蒸发或溅射各种金属、合金、陶瓷、塑料等材料，以满足不同的使用要求。例如，在建筑玻璃上镀上一层金属氧化物薄膜，可以有效阻挡紫外线和红外线，降低室内能耗；在刀具表面镀上一层氮化钛薄膜，可以提高刀具的硬度和耐磨性。可镀形状复杂的工件：由于真空环境中气体分子的散射作用较小，镀膜材料能够均匀地沉积在工件的各个部位，包括复杂形状的工件和具有深孔、沟槽等结构的工件。例如，在一些精密仪器的零部件表面镀膜，即使零部件具有复杂的形状，也能通过真空镀膜设备获得均匀的膜层。宝来利真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，酒店用品镀膜，有需要可以咨询！浙江磁控溅射真空镀膜设备设备厂家化学气相沉...

真空系统操作启动真空泵时，要按顺序操作，先启动前级泵，再启动主泵。抽气过程中，通过真空计监测真空度，若真空度上升缓慢或不达标，应立即停止抽气，检查设备是否泄漏或存在其他故障。镀膜时，要保持真空环境稳定，减少人员在设备周围走动，防止气流干扰。镀膜参数设置根据待镀材料、工件要求和镀膜机特点，合理设置镀膜温度、时间、功率等参数，严格按操作规程操作，避免参数不当导致镀膜失败。镀膜过程中，实时监控参数变化，如温度过高会影响薄膜结构，时间过短会导致薄膜厚度不足，发现异常及时调整。品质真空镀膜设备膜层不易褪色，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，有需要可以来咨询考察！上海防油真空镀膜设备参考价 真空镀膜设备...

真空镀膜机的操作与维护真空镀膜机的操作需要严格按照设备说明书进行，以确保镀膜质量和设备安全。一般来说，操作过程包括设备检查、送电、抽真空、镀膜及冷却等步骤。同时，设备的维护保养也至关重要，这不仅可以延长设备的使用寿命，还可以确保镀膜质量的稳定性。 定期清洗：包括清洗真空室内的衬板、铝丝、钨丝等部件，以及清理干净工件架和蒸发铜棒上的镀层。这些操作可以确保设备的清洁度，提高镀膜质量。 更换扩散泵油：扩散泵油在高温下可能产生裂解，品质下降，导致抽气时间变长。因此，需要定期更换扩散泵油，以确保设备的抽气性能。 检查与更换部件：定期检查气缸轴密封处骨架油封是否损坏或漏气，如有损坏需...

环保与节能低污染：与一些传统的镀膜工艺相比，真空镀膜设备在镀膜过程中不使用大量的化学溶剂和电镀液，减少了废水、废气和废渣的排放，对环境的污染较小。例如传统的电镀工艺会产生含有重金属离子的废水，处理难度大且成本高，而真空镀膜则基本不存在此类问题。节能高效：真空镀膜设备通常采用先进的加热技术和能源管理系统，能够在较低的能耗下实现镀膜过程。同时，其镀膜速度相对较快，生产效率高，可以在较短的时间内完成大量工件的镀膜，降低了单位产品的能耗和生产成本。宝来利PVD真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，细腻有光泽，有需要可以来咨询！上海面罩变色真空镀膜设备厂商 以专门作为工艺反应的内反应腔20。宝来利真空底...

蒸发镀膜设备电阻蒸发镀膜机：通过电阻加热使靶材蒸发，适用于低熔点金属薄膜沉积。电子束蒸发镀膜机：利用电子束轰击靶材，实现高纯度、高熔点材料蒸发，广泛应用于光学镀膜。溅射镀膜设备磁控溅射镀膜机：通过磁场约束电子，提高溅射效率，适用于大面积、高均匀性薄膜制备，如太阳能电池、光学膜。多弧离子镀膜机：利用电弧放电产生等离子体，实现高离化率镀膜，适用于硬质涂层（如TiN、TiCN）。射频溅射镀膜机：采用射频电源激发气体放电，适用于绝缘材料镀膜。离子镀膜设备空心阴极离子镀：通过空心阴极放电产生高密度离子流，实现高速、致密镀膜，适用于耐磨、耐腐蚀涂层。电弧离子镀：结合电弧放电与离子轰击，适用于超硬涂层（如金...

环保节能低污染：与一些传统的镀膜工艺相比，真空镀膜设备在镀膜过程中不使用有机溶剂等易挥发的化学物质，减少了有害气体的排放，对环境的污染较小。例如，传统的电镀工艺会产生大量含重金属离子的废水，而真空镀膜设备则不会产生此类废水。节能：真空镀膜设备通常采用高效的加热和蒸发系统，能够在较低的温度下实现镀膜材料的蒸发和沉积，相比一些高温镀膜工艺，能耗较低。而且，设备的真空系统在运行过程中也具有较高的能源利用效率。品质刀具模具真空镀膜设备，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，有需要可以来咨询考察！江苏望远镜真空镀膜设备推荐厂家 技术优势高纯度：真空环境避免杂质掺入。均匀性：精确控制膜厚和成分。附着力强：离...

环保与节能低污染：与一些传统的镀膜工艺相比，真空镀膜设备在镀膜过程中不使用大量的化学溶剂和电镀液，减少了废水、废气和废渣的排放，对环境的污染较小。例如传统的电镀工艺会产生含有重金属离子的废水，处理难度大且成本高，而真空镀膜则基本不存在此类问题。节能高效：真空镀膜设备通常采用先进的加热技术和能源管理系统，能够在较低的能耗下实现镀膜过程。同时，其镀膜速度相对较快，生产效率高，可以在较短的时间内完成大量工件的镀膜，降低了单位产品的能耗和生产成本。宝来利陶瓷真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，细腻有光泽，有需要可以来咨询！浙江手机面板真空镀膜设备品牌 还可以根据这些附图获得其他附图：图1为本实施例中...

1. 我们的磁控溅射镀膜设备突破了传统，帮助您的产品展现出光彩熠熠的效果。 2. 运用高效能的磁控溅射镀膜设备，能够大幅提升产品表面的耐磨性和防腐性能。 3. 利用我们的创新科技，磁控溅射镀膜设备能够塑造出产品外观的质感，使其更加吸引人。 4. 我们的磁控溅射镀膜设备能够加速生产过程，提升生产效率，帮助您更快地交付产品。 5. 磁控溅射镀膜设备具有***的性能，能够为产品赋予***的附着力，确保其持久耐用。 6. 我们的磁控溅射镀膜设备采用绿色环保技术，不会对地球生态造成危害，为环境做出贡献。 7. 利用磁控溅射镀膜设备的精细控制能力，可以打造出产品细节之美，增强其整体品质。 8. 我们的磁控...

设备检查启动真空镀膜机前，操作人员要检查设备。查看真空泵油位是否正常，油质有无污染。油位过低会影响抽气性能，油质变差则可能损坏真空泵。通过涂抹肥皂水检查真空管道是否泄漏，一旦发现需及时修复，否则会影响真空环境和镀膜质量。同时，还要检查电气系统连接是否牢固，仪表显示是否正常。工件准备待镀工件的表面状态直接影响镀膜质量。镀膜前，需对工件进行严格清洗和脱脂，去除油污、灰尘等杂质，可采用化学清洗或超声波清洗。对于形状复杂的工件，要注意清洗死角。清洗后的工件应放在干燥、清洁的环境中，防止二次污染。此外，要根据工件形状和尺寸选择合适夹具，确保受热均匀、不位移。品质真空镀膜设备膜层亮度高，请选丹阳市宝来利真...

磁控溅射，即受磁场控制的溅射，是一种高速低温的溅射技术。它利用磁场束缚和延长电子的运动路径，改变电子的运动方向，提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量。在高真空的条件下充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁）之间施加直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电。电子在电场的作用下，飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使氩气发生电离，产生氩离子和电子。氩离子在电场的作用下轰击靶材，使得靶材表面的中性原子或分子获得足够动能脱离靶材表面，沉积在基片表面形成薄膜。宝来利真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，铬铝，有需要可以咨询！浙江真空镀铝真空镀膜设备现货直发 汽车行业汽车灯具镀膜案例：...

镀膜过程特点气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）方式并存PVD 特点：蒸发镀膜：在 PVD 蒸发镀膜过程中，材料的蒸发源是关键。常见的有电阻加热蒸发源和电子束加热蒸发源。电阻加热蒸发源结构简单，成本较低，通过电流加热使镀膜材料蒸发。例如，在镀金属薄膜时，将金属丝（如铝丝）放在钨丝加热篮中，当钨丝通电发热时，金属丝受热蒸发。电子束加热蒸发源则适用于高熔点材料，它利用聚焦的电子束轰击镀膜材料，使材料局部高温蒸发，这种方式可以精确控制蒸发区域和蒸发速率。宝来利螺杆真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，细腻有光泽，有需要可以来咨询！导电膜真空镀膜设备现货直发 其中X射线固化技术目前还处在实验室阶...

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种磁控溅射真空镀膜机。背景技术：真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且**终沉积在基片表面，经历成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)，**终形成薄膜。目前市场上类似的磁控溅射真空镀膜机在长时间使用后，会在镀膜机腔体的内壁粘黏有靶材和杂质，通常需要装卸内部的转动架，用人工的方式对腔体内壁进行定时维护，手动清理擦拭，费时费力，清理效率低，为了解决上述问题，我们提出一种...

所述双向螺纹杆远离电机的一端贯穿腔体并延伸至腔体的内部，所述双向螺纹杆位于腔体内部的一端与腔体内壁的右侧通过轴承转动连接。推荐的，所述双向螺纹杆表面的两侧且位于腔体的内部均螺纹连接有活动块，两个所述活动块的底部均固定连接有限位板，并且两个活动块的顶部均通过第二滑轨与腔体内壁的顶部滑动连接。推荐的，所述腔体左侧的底部固定连接有抽风机，并且抽风机进风口的一端连通有风管，所述风管远离抽风机的一端贯穿腔体并延伸至腔体的内部。有益效果本实用新型提供了一种高分子等离子表面真空镀膜设备。与现有技术相比具备以下有益效果：(1)、该高分子等离子表面真空镀膜设备，通过两个宝来利真空滑轨相对的一侧之间滑动连接有...

OLEDCLUSTER镀膜设备OLEDCLUSTER，有机发光二极管（OLED），有...手动镀膜系统手动磁控溅射系统，手动电子束蒸发系统，手动热蒸发系统，教...定制真空镀膜设备定制真空镀膜设备，定制真空分析设备，定制真空互联设备...磁控溅射（共溅射）共溅射式磁控溅射系统，支持2-6只靶宝来利，2-6寸样品，适...多工位磁控溅射镀膜机多片式磁控溅射镀膜系统，Magnetronsputte...超高真空磁控溅射镀膜机超高真空溅镀，UHVSputtering，兼容UHV...电子束蒸发镀膜机电子束蒸发系统，支持1-6个坩埚，2-8寸样品或多片伞状...线性磁控溅射镀膜机立式磁控，连续式磁...

真空镀膜设备种类繁多，根据镀膜工艺和要求的不同，可以分为多种类型。以下是一些常见的真空镀膜设备及其特点：蒸发镀膜设备：原理：通过加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并沉降在基片表面形成薄膜。应用：广泛应用于装饰性镀膜，如手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等。磁控溅射镀膜设备：原理：利用气体放电产生的正离子在电场的作用下高速轰击阴极靶材，使靶材中的原子（或分子）逸出并沉积在被镀工件的表面形成薄膜。应用：适用于多种领域，如信息存储（磁信息存储、磁光信息存储等）、防护涂层（飞机发动机叶片、汽车钢板等）、光学薄膜（增透膜、高反膜等）以及太阳能利用（太阳能集热管、太阳能电池等）。宝来利HUD...

汽车行业汽车灯具镀膜案例：汽车大灯制造商如欧司朗、海拉等会使用真空镀膜设备对大灯灯罩进行镀膜。通过 PVD 的溅射镀膜技术，在灯罩表面沉积二氧化硅（SiO₂）或氧化铝（Al₂O₃）等材料的薄膜，这些薄膜可以提高灯罩的抗划伤能力、抗紫外线能力和耐候性，防止灯罩因长期暴露在户外环境而发黄、老化，从而延长汽车灯具的使用寿命，同时保持良好的透光性。 汽车轮毂镀膜案例：许多汽车轮毂制造商采用真空镀膜设备对轮毂进行装饰和防护镀膜。例如，通过 PVD 的蒸发镀膜或溅射镀膜技术，在轮毂表面镀上一层金属铬（Cr）或陶瓷涂层。金属镀膜可以使轮毂具有金属光泽，增强美观度；陶瓷涂层则能提供良好的耐磨性和耐腐...

因此，即使外腔体10与内反应腔20在气路上相互连通，但外腔体10中的污染物也很难进入到内反应腔20中，从而可以保证内反应腔20始终保持清洁的工艺环境。由此，外腔体10与所述内反应腔20可共用一套抽真空系统。由于外腔体10与内反应腔20之间应属于相互连通的气路环境，因此，当对外腔体10进行抽真空处理时，内反应腔20也同时进行抽真空处理。本实施方式中，自动门设置于所述第二侧壁22上，所述外腔体10内设有传送装置13，所述工件自所述传送装置13经所述自动门23传递至所述内反应腔20中。自动门控制器控制自动门的启闭。抽真空完成后，自动门控制器检测传送装置上是否有工件存在，经检测若有工件存在，则控制...

1. 高效节能！新一代真空镀膜设备助力工业升级 2. 创新科技！真空镀膜设备打造超硬防护膜 3. 环保无污染！真空镀膜设备助您轻松迈向绿色生产 4. ***精密！真空镀膜设备实现微米级涂层控制 5. 轻松应对高温！真空镀膜设备提供耐热涂层解决方案 6. 美轮美奂！真空镀膜设备助您创造独特的表面效果 7. 拒绝腐蚀！真空镀膜设备打造抗酸碱涂层 8. 高稳定性！真空镀膜设备实现持久涂层保护 9. 多功能应用！真空镀膜设备适用于金属、玻璃等多种材料 10. ***保证！真空镀膜设备助您打造精细工艺产品宝来利滤光片真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，细腻有光泽，有需要可以来咨询！上海汽车轮毂真空镀膜设...

避免工艺污染，提供工艺质量。由于设置双腔室，作为工艺反应区的内反应腔20相对较小，因此可以有效减少工艺原料的浪费，降低原料的使用成本，提高原料的利用率。同时，由于工艺反应区的减少，可以有效控制该区域内的温度，使该区域内的工艺温度更易于均匀化，进而提高工艺质量。需要说明的是，内反应腔20位于外腔体10内，但内反应腔20和外腔体10处于可连通状态，并非完全隔绝，当对外腔体10进行抽真空处理时，内反应腔20内也同时进行抽真空操作。外腔体10和内反应腔20处于相互连通的状态，只是在外腔体10内划分出了一个立体空间以进行工艺反应。本实施方式中，参照图2，所述外腔体10包括宝来利真空底板11和沿所述宝...

解决真空镀膜设备膜层不均匀的问题可以采取以下措施：调整镀液配方：确保镀液中各种成分的浓度均匀，并根据需要调整适当的参数，如温度、PH值等，以提高沉积速率的均匀性。优化电解槽结构：通过合理设计电解槽结构，改善电场分布的均匀性，避免在基材上出现局部沉积速率过快或过慢的情况。提前处理基材表面：在镀膜之前对基材进行表面清洁、抛丸处理、磨削等，确保基材表面平整、清洁，以减少不均匀因素的影响。定期维护设备：定期清洗、更换镀液，保持电解槽、电极等设备的清洁和良好状态，以确保电解液浓度的稳定和均匀。通过以上措施能够有效地解决真空镀膜设备在操作过程中出现的膜层不均匀问题，提高镀膜的质量和效率。品质真空镀膜设备，...

其中X射线固化技术目前还处在实验室阶段，实际生产中还没有得到应用。目前应用**广的是紫外光（UV）固化涂料。它是以光引发聚合，依靠紫外光的照射，使涂料产生自由基，引发材料中的不饱和双键等官能团在很短暂的时间内产生聚合反应，从而形成交联式三维网状高聚物，达到快速固化的目的。由于紫外光固化涂料具有固化时间短，生产效率高，低能耗，无溶剂，污染小等诸多***，因此在**工作得到越来越重视的***，得到了越来越***的应用。紫外光（UV）固化涂料用树脂以聚氨酯丙烯酸酯、环氧丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯等为主。目前，用于电子、汽车灯反光罩等**产品的镀膜涂料，其树脂主要来自日本合成、沙多玛、氰特化工等国外产...

以专门作为工艺反应的内反应腔20。宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12、第二底板21和第二侧壁22均可由金属材料组成，其中，第二底板21和第二侧壁22则优先选用热传导效果较好的金属材料组成，例如可选不锈钢或铝合金等材料。除上述结构形式外，外腔体10和内反应腔20还可以共用一个底板，真空镀膜设备用一圈隔离板对外腔体10进行分割即可。但为了将内反应腔20的空间尽可能地缩小到所需范围，且真空镀膜设备大限度地降低非必要的空间，该实施方式中设置了宝来利真空底板11和第二底板21相互分离的设置结构，以在垂直方向上缩小内反应腔20的空间。其中，宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12和密封盖板30三者相...

为了优化真空镀膜机的镀膜质量和效率，可以采取以下措施：进行膜层性能测试和质量控制：完成光学镀膜后，应通过透射率测量、反射率测量、膜层厚度测量等方法进行膜层性能测试，以评估镀膜的质量和效率。建立和维护真空系统：利用真空泵将镀膜室内的空气抽出，达到所需的真空度。真空度的控制对镀膜质量至关重要，因为它影响到蒸发材料的传输和分布。同时，需要保持稳定的真空环境，避免外部污染和波动，以保证膜层的均匀性和纯度。选择适合的镀膜材料：根据所需膜层的特性（如硬度、透明度、电导性等）以及基材的兼容性选择合适的镀膜材料。同时，了解材料的蒸气压、熔点等物理化学性质，以便在镀膜过程中进行有效控制。宝来利智能手机真空镀膜设...

所述u形架的下端通过轴承转动安装在后罐体的内部下侧，所述u形架的外侧固定安装有刮板，所述刮板的外侧与后罐体、前罐体的内表面紧密贴合，所述后罐体和前罐体的上表面外侧均匀开设有通孔，所述通孔从上至下向外倾斜，所述通孔的内部固定安装有喷头。推荐的，所述驱动装置包括半圆板，所述前罐体的前表面上侧开设有与半圆板匹配的半圆槽，所述半圆板的上表面开设有转轴通孔，所述半圆板的上表面固定安装有防护罩和减速电机，所述防护罩罩接在减速电机的外侧，所述减速电机的输出轴转动安装在转轴通孔的内部，所述减速电机输出轴的下端与u形架固定装配。推荐的，所述前罐体的下表面后侧安装有集料盒，所述集料盒包括出料口，所述出料口的下...

解决真空镀膜设备膜层不均匀的问题可以采取以下措施：调整镀液配方：确保镀液中各种成分的浓度均匀，并根据需要调整适当的参数，如温度、PH值等，以提高沉积速率的均匀性。优化电解槽结构：通过合理设计电解槽结构，改善电场分布的均匀性，避免在基材上出现局部沉积速率过快或过慢的情况。提前处理基材表面：在镀膜之前对基材进行表面清洁、抛丸处理、磨削等，确保基材表面平整、清洁，以减少不均匀因素的影响。定期维护设备：定期清洗、更换镀液，保持电解槽、电极等设备的清洁和良好状态，以确保电解液浓度的稳定和均匀。通过以上措施能够有效地解决真空镀膜设备在操作过程中出现的膜层不均匀问题，提高镀膜的质量和效率。宝来利晶圆真空镀膜...

使用高真空多层精密光学真空镀膜设备时，必须注意以下事项：清洁度要求：由于任何微小的尘埃或污染都可能导致镀膜质量下降，因此在操作前后需要确保设备的清洁。这包括定期清洗真空室、支架和夹具，以及使用无尘布和适当的清洁剂。真空环境维护：为保证镀膜质量，必须维持稳定的高真空环境。操作人员应检查真空泵的工作状态，确保没有泄漏，并定期更换泵油以保持其较好性能。薄膜材料准备：根据所需镀制的薄膜类型，选择恰当的薄膜材料，并对其进行预处理，比如加热去气，以避免在镀膜过程中产生杂质。镀膜过程监控：使用膜厚监控仪实时监测薄膜的沉积速率和厚度，确保每层薄膜都能达到预定的精度要求。宝来利真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨...

以专门作为工艺反应的内反应腔20。宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12、第二底板21和第二侧壁22均可由金属材料组成，其中，第二底板21和第二侧壁22则优先选用热传导效果较好的金属材料组成，例如可选不锈钢或铝合金等材料。除上述结构形式外，外腔体10和内反应腔20还可以共用一个底板，真空镀膜设备用一圈隔离板对外腔体10进行分割即可。但为了将内反应腔20的空间尽可能地缩小到所需范围，且真空镀膜设备大限度地降低非必要的空间，该实施方式中设置了宝来利真空底板11和第二底板21相互分离的设置结构，以在垂直方向上缩小内反应腔20的空间。其中，宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12和密封盖板30三者相...