典型应用案例 半导体行业:在晶圆表面沉积铝或铜互连层,通过磁控溅射实现高纯度、低电阻薄膜。 光学领域:在镜头表面镀多层介质膜(如MgF₂/SiO₂),通过精确控制各层厚度,实现特定波长...
高沉积效率,适合规模化生产 溅射速率快,产能高 磁场约束电子延长了其在靶材附近的运动路径,显著提高气体电离效率和离子轰击靶材的能量,使溅射速率比传统二极溅射提升5~10倍。例如,沉积1...
薄膜纯度高、均匀性好真空环境有效避免了杂质混入,薄膜纯度高;同时,通过优化靶材布局、磁场分布等参数,可实现大面积均匀镀膜,尤其适合复杂形状工件(如凹槽、小孔)的表面处理,膜厚偏差通常可控制在±5%...
智能手机等消费电子产品不断追求更轻薄、更高性能的设计,对真空镀膜技术提出了更高的要求。例如,手机玻璃盖板需要通过真空镀膜来实现更好的透光率、抗反射性和耐磨性能;摄像头镜片也需要精确的镀膜以提高成像质量...
技术优势: 性能提升:薄膜硬度可达2000-5000HV,耐磨性优于传统材料;耐腐蚀性强,可阻挡酸、碱等介质侵入。 功能多样:通过调整工艺参数,可实现防反射、增透、导电、绝缘、屏蔽等多...
材料适应性广,适用场景多元 基材类型无限制 PVD镀膜对基材的导电性、材质无严格要求,金属(钢、铝、铜)、非金属(玻璃、陶瓷、塑料、复合材料)均可镀膜。例如: 塑料基材(如手机外...
消费电子领域 智能手机与可穿戴设备:摄像头镜头镀增透膜(AR膜),提升进光量,优化成像质量。显示屏表面镀防反射(AF)涂层,减少眩光,增强户外可视性。金属中框/后盖镀装饰膜,实现仿不锈钢、玫...
膜体材料的释放:在真空环境中,膜体材料(如金属、合金、化合物等)通过加热蒸发或溅射的方式被释放出来。蒸发过程通常涉及加热蒸发源,使膜体材料蒸发成气态分子;溅射过程则利用高能粒子(如离子)轰击靶材,使靶...
工艺灵活性强 多技术集成:支持物相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)等多种技术,覆盖从纳米级到微米级膜厚。 材料兼容性广:可沉积金属(如铝、铜)、陶瓷(如氮化...
电子束蒸发镀膜设备:原理:利用电子束直接加热靶材,使其蒸发并沉积在基片上。应用:主要用于镀制多层精密光学膜,如AR膜、长波通、短波通等,广泛应用于玻璃盖板、摄像头、眼镜片、光学镜头等产品。离子镀真空镀...
适用基体多样金属基体:各种金属制品,如汽车零部件、五金工具、电子产品外壳等,都可以通过真空镀膜来提高其表面性能和装饰效果。例如汽车轮毂通过真空镀膜可以获得美观的外观和良好的耐腐蚀性。 塑料基...