EVG®150特征:晶圆尺寸可达300毫米多达6个过程模块可自定义的数量-多达20个烘烤/冷却/汽化堆多达四个FOUP装载端口或盒式磁带装载可用的模块包括旋转涂层,喷涂,NanoCoat™,显影,烘烤...
滤光片整平光谱响应。ND#0.5衰减整平滤波器.單倍整平滤波器用于改善可見光光譜均勻度+ND#0.5衰减整平滤波器.ND#1衰减整平滤波器.單倍整平滤波器用于改善可見光光譜均勻度+ND#1衰减整平滤波...
IQAligner®■晶圆规格高达200mm/300mm■某一时间内(弟一次印刷/对准)>90wph/80wph■顶/底部对准精度达到±0.5µm/±1.0µm■接近过程100/%无触点■可选Ergo...
非晶态多晶硅硅元素以非晶和晶体两种形式存在,在两级之间是部分结晶硅。部分结晶硅又被叫做多晶硅。非晶硅和多晶硅的光学常数(n和k)对不同沉积条件是独特的,必须有精确的厚度测量。测量厚度时还必须考虑粗糙度...
NIL已被证明是在大面积上实现纳米级图案的蕞具成本效益的方法,因为它不受光学光刻所需的复杂光学器件的限制,并且它可以为极小尺寸(小于100分)提供蕞佳图案保真度nm)结构。EVG的SmartNIL是基...
精密电容式位移传感器具有哪些特点?MicroSense低噪声优势-具有纳米分辨率,高稳定性和高精度的位移传感器。1.是非接触式位移测量和短距离(±5微米至±2毫米)尺寸测量的理想选择。2.高精度–典型...
生物医疗设备涂层应用生物医疗器械应用中的涂层生物医疗器械的制造和准备方面会用到许多类型的涂层。有些涂层是为了保护设备免受腐蚀,而其他的则是为了预防组织损伤、敢染或者是排异反应。药物传输涂层也变得日益普...
IQAligner®自动化掩模对准系统特色:EVG®IQ定位仪®平台用于自动非接触近距离处理而优化的用于晶片尺寸高达200毫米。技术数据:IQAligner是具有高度自动化程度的非接触式接近光刻平台,...
铟锡氧化物与透明导电氧化物液晶显示器,有机发光二极管变异体,以及绝大多数平面显示器技术都依靠透明导电氧化物(TCO)来传输电流,并作每个发光元素的阳极。和任何薄膜工艺一样,了解组成显示器各...
厚度测量产品:我们的膜厚测量产品可适用于各种应用。我们大部分的产品皆備有库存以便快速交货。请浏览本公司网页产品资讯或联系我们的应用工程师针对您的厚度测量需求提供立即协助。单点厚度测量:一键搞定的薄膜厚...
F20系列是世界上蕞**的台式薄膜厚度测量系统,只需按下一个按钮,不到一秒钟即可同时测量厚度和折射率。设置也非常简单,只需把设备连接到您运行Windows™系统的计算机USB端口,并连接样品平台就可以...
铟锡氧化物与透明导电氧化物液晶显示器,有机发光二极管变异体,以及绝大多数平面显示器技术都依靠透明导电氧化物(TCO)来传输电流,并作每个发光元素的阳极。和任何薄膜工艺一样,了解组成显示器各...
使用位移传感器的注意事项:1、传感器的供电情况,如果位移传感器供电电源容量不足,就会造成以下的情况:熔胶的运动会使合模电子尺的显示变换,有波动,或者合模的运动会使射胶电子尺的显示波动,造成测量误差变大...
位移传感器工作原理:感应位移传感器开机后,开关的传感器表面会产生交变磁场,金属协接近传感器表面时,金属中会产生涡流,吸收振动器的能量,使振动器超出范围根据线性衰减的变化达到不接触检测物的目的。通过电位...
纳米压印应用一:镜片成型晶圆级光学(WLO)的制造得到EVG高达300mm的高精度聚合物透镜成型和堆叠设备的支持。使用从晶片尺寸的主印模复制来的工作印模,通过软UV压印光刻将透镜图案转移到光学聚合物材...
EVG6200NT附加功能:键对准红外对准纳米压印光刻(NIL)EVG6200NT技术数据:曝光源汞光源/紫外线LED光源先进的对准功能手动对准/原位对准验证自动对准动态对准/自动边缘对准对准偏移校正...
EVGroup的一系列高精度热压花系统基于该公司市场领仙的晶圆键合技术。出色的压力和温度控制以及大面积上的均匀性可实现高精度的压印。热压印是一种经济高效且灵活的制造技术,具有非常高的复制精度,可用于蕞...
高精度电容位移传感器的工作原理是什么?高精度电容位移传感器的工作原理是基于电容变化的原理。其具体步骤如下:1. 传感器中有一个驱动电极和一个测量电极,它们之间由一个电介质隔开。2. 当没有物体附近时,...
轮廓仪在晶圆的IC封装中的应用:晶圆的IC制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV刻蚀到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程,其中由于光罩中电路结构尺寸极小,任何微小的黏附异物和下次均会导致制造的晶圆...
高精度电容位移传感器的优点:1. 高精度:电容位移传感器可以实现非常高的测量精度,一般可以达到0.01%~0.001%的级别,具有极高的测量分辨率和准确度。2. 高灵敏度:电容位移传感器对位移的响应非...
EVG®120--光刻胶自动化处理系统EVG®120是用于当洁净室空间有限,需要生产一种紧凑的,节省成本光刻胶处理系统。新型EVG120通用和全自动光刻胶处理工具能够处理各种形状和尺寸达200mm/8...
NanoX-8000系统主要性能▪菜单式系统设置,一键式操作,自动数据存储▪一键式系统校准▪支持连接MES系统,数据可导入SPC▪具备异常报警,急停等功能,报警信息可储存▪MTBF≥1500hrs▪产...
接触探头测量弯曲和难测的表面CP-1-1.3测量平面或球形样品,结实耐用的不锈钢单线圈。CP-1-AR-1.3可以抑制背面反射,对1.5mm厚的基板可抑制96%。钢制单线圈外加PVC涂层,ZUI大可测...
EVG120光刻胶自动处理系统:智能过程控制和数据分析功能(框架软件平台)用于过程和机器控制的集成分析功能并行任务/排队任务处理功能设备和过程性能根踪功能智能处理功能:事/故和警报分析/智能维护管理和...
电容式位移传感器如何维护?需要从哪几个方面注意?1. 清洁传感器:经常检查传感器表面是否有污垢或灰尘,可用干净、柔软的布轻轻擦拭传感器表面。2. 防止碰撞震动:传感器在使用时要避免碰撞和震动,以免影响...
什么是高精度电容位移传感器?高精度电容位移传感器是一种用于准确测量物体的位移的传感器。它通过测量两个电极之间的电容变化来测量物体相对于传感器的位移(位置变化)。其工作原理是基于两个平行金属电极之间由电...
高精度电容位移传感器的参数特点:测量范围:±10微米至±1毫米(在某些情况下,可能高达25毫米);测量分辨率:<1纳米至50纳米;线性度:满刻度范围低至0.02%;稳定性:系统可用于需要数周或数月稳定...
高精度电容位移传感器的参数特点:测量范围:±10微米至±1毫米(在某些情况下,可能高达25毫米);测量分辨率:<1纳米至50纳米;线性度:满刻度范围低至0.02%;稳定性:系统可用于需要数周或数月稳定...
高精度电容位移传感器特点:高精度电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器。1.使用优于纳米级别的分辨率,应用在高精度的测量;2.往优越的温度稳定性;3.多种类的高精度的电容式传感器;4.单独...
高精度电容位移传感器如何维护?有哪些措施?1. 保持清洁:在使用过程中,传感器可能会沾染灰尘、油污等,应定期进行清洁。使用软布或专门清洁剂,轻轻擦拭传感器表面的电极和外壳。2. 避免震动:传感器受到过...