小型热翘曲量测设备优势

温控区间是热翘曲量测设备选型的重要参考维度,不同行业产品对应的热工艺温度存在明显差异。常规 PCB、消费电子芯片回流焊工艺峰值温度约两百六十摄氏度,选择温控上限三百摄氏度的标准机型即可覆盖全部测试工况;车载功率器件、新能源 IGBT 长期工作温度更高,可选择宽温域机型,拓展高温测试区间,模拟元件极限服役环境;柔性基材、薄膜类样品耐受温度偏低,设备支持低温段精细化控温,精确观测中低温区间形变变化。设备升温速率可自定义调节,匹配快速回流焊、慢速固化两类不同工艺曲线,企业可根据自身产线温控节奏确认机型温控调节档位。前列光学推出的自研机型温控均匀性经过多轮迭代优化,腔体内部温度差值控制在较小范围,避免样品局部温差造成形变数据失真,适配各类精细化温度模拟测试需求,适配多数电子制造行业工艺温控标准。车载芯片制造企业借助热翘曲量测设备，模拟高低温循环工况完成耐久测试。小型热翘曲量测设备优势

国内南京一处 12 英寸晶圆制造厂区引入前列光学热翘曲量测设备,用于 CVD 薄膜沉积工序后的晶圆形变监测。厂区此前使用常规静态测量仪器,只能完成常温下晶圆平整度检测,无法捕捉薄膜高温沉积过程中产生的动态翘曲,晶圆边缘周期性形变造成光刻对焦偏移,半成品报废比例偏高。导入自研设备后,可完整模拟薄膜沉积对应高温工况,全域扫描整片晶圆形变分布,精确定位边缘形变峰值区域。工艺人员依托设备输出的温度 - 翘曲曲线,调整沉积设备气体流速分布参数,平衡晶圆表面温度均匀性,晶圆厚度均匀性得到改善,因形变引发的光刻不良比例逐步下降。设备全自动运行适配厂区洁净车间无人值守抽检流程,配套软件数据可同步对接厂区生产数字化管理平台,每批次晶圆形变数据自动归档留存,方便长期追溯工艺参数调整带来的品质变化,稳定晶圆成品出厂合格率。购买热翘曲量测设备平台华东片区不少集成电路加工厂配备热翘曲量测设备，用于产线日常抽样检测。

**光学研制的“热翘曲量测设备”是国内***在半导体翘曲量测领域应用Shadow-Moire技术研发制造“热翘曲量测设备”的公司，该设备满足国际品牌Akromtrix-AXP的使用场景，且符合国内的生产工艺要求。所有配件全部国产化，功能全部实现国产化，对比竞品的温控模块，温度均匀性的性能全方面提升。

**光学的代表性突破在于其热翘曲量测设备。该设备基于国际主流的“阴影摩尔条纹技术（Shadow-Moire）”进行研发制造。当前全球*有两家企业能够应用此项技术研发制造相关设备：除美国的**品牌外，便是中国的领先光学技术（江苏）有限公司。作为该领域国内***的突破者，**光学成功在半导体翘曲量测领域实现了技术产品化，也标志着国内在此领域已步入行业**行列。

国内多所开设微电子、材料工程专业的高校实验室配备热翘曲量测设备,支撑产学研课题研究工作。复旦大学、大连理工大学等院校将设备用于微纳材料热应力、新型封装结构、复合基板热膨胀匹配等方向实验,研发人员借助设备观测不同配比新材料、多层复合结构在梯度温度下的形变规律,积累材料基础参数。实验室设备选型会兼顾多样品适配与高精度数据采集需求,可完成小型试样、晶圆切片、实验室自制基板的测试工作。设备配套开放数据导出接口,实验人员可将形变数据导入仿真软件,结合有限元分析推演材料内部应力分布,优化课题研究模型。各地市级微纳光电子研究中心也批量采购该类设备,对接本地中小企业材料测试需求,搭建公共检测服务平台,推动实验室技术向产业端落地转化,缩短新材料、新工艺产业化调试周期。新能源功率器件厂商采用热翘曲量测设备，把控大功率元件高温形变稳定性。

前列光学自研热翘曲量测设备可适配多类微电子制造行业检测场景,覆盖半导体晶圆制造、先进芯片封装、PCB 与陶瓷基板生产、车载电子零部件、新材料研发实验室五大主流领域。晶圆制造场景可完成 8 至 12 英寸硅片高温形变扫描,管控光刻工序对位精度;先进封装场景适配 BGA、QFN、3D 堆叠、面板级封装各类产品,模拟回流焊热循环监测层间翘曲;PCB 行业兼容刚性板、柔性超薄板材,检测层压、贴片工艺热形变;车载电子场景可复现机舱高低温交替工况,验证功率器件、ADB 灯基板长期热稳定;高校与材料企业实验室可用于新型基板树脂、复合陶瓷、塑封料配方对比实验。设备支持载台、软件功能定制调整,针对企业小众特殊样品可调整光路尺寸、新增专属温控曲线模板,一套设备覆盖企业研发、来料质检、成品可靠性测试全流程使用需求,无需分多台专属检测仪器,节省车间设备摆放空间与采购预算。热翘曲量测设备可兼容裸晶圆、塑封芯片、超薄 PCB 等多种类型样品检测工作。比较好的热翘曲量测设备按需定制

中部电子产业基地新建检测实验室，批量采购热翘曲量测设备搭建检测平台。小型热翘曲量测设备优势

热翘曲量测设备是一类依托光学检测技术,搭配可控温加热模组搭建而成的检测仪器,主要作用是模拟各类电子产品生产、服役阶段的高温环境,捕捉样品在温度升降过程中产生的三维形变数据。常规尺寸检测仪器只能完成常温静态测量,无法复现回流焊、高温固化、元件长期工作等热工况,而该类设备通过腔体温控系统复刻完整热循环,从升温、恒温到降温全程不间断采集样品表面高度点位,量化受热产生的弯曲、凹凸变化。设备依靠阴影摩尔条纹、激光干涉等光学手段实现非接触采集,不会对晶圆、超薄基板、小型芯片等脆弱样品造成物理损伤,产出的形变曲线、三维云图可直观呈现温度与形变之间的关联规律,成为微电子、精密电子行业工艺优化与品质管控的配套仪器。国内多家设备研发企业完成该类设备国产化落地,依托本土光学算法与温控模块研发能力,适配国内产线多样品检测需求,逐步替代海外同类设备应用于各类制造车间与科研实验室。小型热翘曲量测设备优势