真空固晶炉真空泵油乳化，怎么处理？

广东华芯半导体技术有限公司2025-10-09

乳化是因油中混入水分，需立即处理：一是排空乳化油，用特定清洁剂反复冲洗泵腔，去除残留水分；二是更换干燥的新真空泵油，按设备型号适配；三是检查真空泵密封件，更换破损部件，防止水分再次进入；四是确保安装环境湿度≤60%，避免泵体受潮。处理后需测试真空泵性能，确保真空度达标。广东华芯半导体技术有限公司可提供真空泵油更换与密封检查服务。

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