垂直批量晶圆传送系统的主要作用是什么？

科睿設備有限公司2026-04-17

科睿垂直批量晶圆传送系统是半导体晶圆量产线的主要传送设备，其作用是实现多片晶圆的垂直批量传送，将晶圆在不同工序（如检测、刻蚀、薄膜沉积、分选）之间进行高效、平稳的转移，提升生产线的自动化水平与效率。该系统适合半导体量产线、中试线等需要批量传送晶圆的场景，尤其适用于空间有限的生产线，垂直传送设计可节省占地面积，充分利用空间资源。系统可实现多片晶圆的同步传送，传送过程平稳、无震动，避免晶圆破损、偏移，同时可与晶圆拾取与放置设备、检测设备、分选机联动，形成完整的批量晶圆处理流程，适配4英寸、6英寸、8英寸等主流规格晶圆的批量传送需求，为量产线的高效运行提供保障。