什么是卷对卷脉冲激光沉积（R2R PLD）技术？

科睿設備有限公司2026-05-26

卷对卷脉冲激光沉积（R2R PLD）是将脉冲激光沉积技术与卷对卷柔性基带传输系统相结合的先进薄膜制备技术。其原理是：高能量脉冲激光聚焦轰击REBCO靶材表面，瞬间产生高温高压等离子体羽流，羽流定向飞行并沉积在运动的金属基带上形成超导薄膜。R2R系统通过放卷轮和收卷轮的协同控制，使千米级长度的柔性基带连续通过沉积区，实现超导层的规模化生产。这项技术是制备第二代高温超导带材（REBCO涂层导体）的关键工艺，能够精确控制超导层的成分、厚度和晶体取向，是推动超导材料从实验室走向产业化的关键装备。

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