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EMU的对准仪在防静电（ESD）方面做得如何？

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科睿設備有限公司2026-05-19

EMU非常重视ESD防护。其所有晶圆对准仪系列产品均采用“清洁概念”设计，所有与晶圆和片盒接触的部件都使用特定的导电或耗散材料，确保静电能被安全地导走，而不是在晶圆表面积累。对于ESD特别敏感或后端应用，EMU还可提供全导电的设备版本，从源头上杜绝静电放电对敏感器件造成损伤的风险，明显提高产品良率。

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