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VBT设备可以处理像石英舟这样的特殊载具吗？

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科睿設備有限公司2026-05-20

可以。科睿设备有限公司提供的EMU的VBT系列为此提供了专门的型号。例如，VBT125/150Q和VBT200Q是专门设计用于在标准开放式片盒和石英舟之间传输晶圆的。石英舟通常用于高温炉管工艺，其插槽结构与传统片盒不同。VBT-Q型号配备了特制的梳齿和传输逻辑，能够安全、准确地将晶圆从片盒插入石英舟的槽位中，或从中取出，完美匹配炉管工艺的上下料需求。

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