平面/凹口对齐器的主要功能是什么？

科睿設備有限公司2026-04-17

科睿平面/凹口对齐器的主要功能是对晶圆的平面、凹口进行准确定位与对齐，确保晶圆在后续工序（如光刻、刻蚀、薄膜沉积）中的位置准确，提升后续工艺的精度与一致性。该设备可快速识别晶圆的平面、凹口位置，通过高精度定位机构，将晶圆调整至预设的对齐位置，对齐精度可达±0.005mm，能够有效解决晶圆放置偏移导致的后续工艺偏差问题。对齐后的晶圆可确保光刻图案、刻蚀位置、薄膜沉积区域的准确定位，避免出现图案偏移、尺寸偏差等问题，明显提升后续工艺的质量与合格率。此外，设备可与晶圆传送系统、拾取与放置设备联动，实现对齐与传送、移栽的一体化操作，提升生产流程的效率。