等离子刻蚀机如何用于蓝宝石衬底的图形化？

深圳市方瑞科技有限公司2026-04-16

等离子刻蚀机用于LED用蓝宝石衬底的图形化（PSS），通过光刻胶掩模，使用BCl₃/Cl₂或氟基气体刻蚀出微锥或微柱结构。图形化可提高光提取效率。方瑞科技的ICP刻蚀机刻蚀速率均匀，图形尺寸可控，侧壁角度可调。刻蚀后去除掩模，衬底即可用于GaN外延。方瑞科技已为多家LED芯片厂提供PSS刻蚀设备。

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简介：专注于等离子设备的研发、生产和销售，服务于半导体、汽车、电子等多个行业，产品远销全球。

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