等离子去胶机去除BCB后表面出现“橘皮”纹如何解决？

深圳市方瑞科技有限公司2026-08-07

橘皮纹通常是BCB刻蚀不均匀或局部过热导致。方瑞科技的PD-200 RIE去胶机采用O₂/CF₄混合气体，配合脉冲射频和背氦冷却，将晶圆温度控制在60℃以内。设备配备终点检测，去胶完成后立即停止，防止过刻蚀。去胶后表面平整，橘皮纹消失。方瑞科技提供BCB去胶工艺开发服务。

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简介：专注于等离子设备的研发、生产和销售，服务于半导体、汽车、电子等多个行业，产品远销全球。

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