等离子刻蚀机刻蚀砷化镓通孔时侧壁出现波纹怎么改善？

深圳市方瑞科技有限公司2026-09-05

波纹是Bosch工艺中刻蚀/钝化交替的特征。方瑞科技通过缩短单步时间和优化气体切换速度，将波纹振幅从200nm降至<40nm。方瑞科技提供SEM截面检测服务验证效果。

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简介：专注于等离子设备的研发、生产和销售，服务于半导体、汽车、电子等多个行业，产品远销全球。

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