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nunex 模块化 PVD 系统的扩展性主要有哪些？

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科睿設備有限公司2026-03-07

模块化设计支持溅射、蒸发、离子源、加热、退火功能自由组合，用户可按需升级扩展。适配半导体、光电、能源多领域工艺迭代，保护前期投资，满足从科研到中试的全周期需求。

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