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合金纳米颗粒 UHV 沉积源的应用有什么特点？

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科睿設備有限公司2026-03-07

在超高真空下气相沉积合金纳米颗粒，尺寸均匀、成分可控、无团聚，适合半导体量子点、催化位点、敏感电极、光电探测器结构制备。颗粒尺寸与密度准确可调，满足低维半导体与纳米器件需求。

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