深圳市方瑞科技有限公司2026-01-05
方瑞科技的射频小型等离子清洗机,通过控制 13.56MHz 射频功率与工艺参数,利用低温等离子体中的高能粒子选择性地与电极表面有机物发生化学反应并予以去除,同时通过优化设计尽可能减少对下方精密金属电极的物理轰击与损伤,从而实现在彻底清洁的同时保护电极完整性与电性能。
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