广东华芯半导体技术有限公司2025-05-29
升温速率可调范围 1-15℃/min,**快可达 20℃/min(需搭配强制冷却系统);降温速率通过风冷或水冷调节,可达 10℃/min。广东华芯半导体技术有限公司的设备支持程序分段设置速率,满足阶梯式工艺需求。
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