多片式机械手工作效率怎么样？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-05-14

这款多片式机械手在搬运效率上同样表现优异，其完成25片晶圆的取放只需15-20秒，较单片搬运设备效率提升数倍。这一优势得益于设备采用的并行取放技术，即在一次运动中同时完成多片晶圆的抓取与放置，减少了机械手的往返次数。例如，在从存储盒到工艺腔体的搬运过程中，机械手会一次性将25片晶圆全部取出，然后以合适路径运送至目标位置，再一次性放下，避免了单片搬运的频繁启停，不但提升了效率，还降低了能耗。如果想了解更多内容，可以进入官网详细了解哦

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