磁控溅射仪的极限真空度能达到多少？

科睿設備有限公司2026-03-05

科睿设备有限公司的磁控溅射仪产品极限压力可低于 6.6×10⁻⁶ Pa（如产品型号https://www.crosstech.com.cn/product-item-31.html所示），这属于高真空范畴，能满足高质量薄膜的制备要求。

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简介：公司主营紫外光刻、磁控溅射等前沿仪器，为纳米与薄膜材料研究提供专业解决方案，助力中国科技飞速成长。

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