电子束蒸发镀膜系统适合制备哪些薄膜？

科睿設備有限公司2026-03-05

电子束蒸发利用高能电子束加热靶材，沉积速率可控、膜层致密，适合金属电极、阻挡层、光学薄膜、贵金属薄膜制备，如 Au、Ag、Al、Ti、Pt 等。科睿设备配备多坩埚自动切换、膜厚在线监测与真空联锁保护，适合半导体器件电极、接触层、掩模层等高精度成膜工艺。

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简介：公司主营紫外光刻、磁控溅射等前沿仪器，为纳米与薄膜材料研究提供专业解决方案，助力中国科技飞速成长。

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