真空固晶炉噪音大，常见原因有哪些？

广东华芯半导体技术有限公司2025-10-07

常见原因有四点：一是真空泵轴承磨损或油质变差，运行噪音＞75dB；二是真空管道松动，振动产生噪音；三是加热风扇积灰或叶片变形，转动噪音增大；四是设备地脚不稳，整体振动。解决需先检查真空泵，更换磨损部件或新油；再紧固管道并加减震垫，清洁风扇；调整地脚使设备平稳。广东华芯半导体技术有限公司的真空固晶炉采用低噪设计，还可提供上门检修服务。

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