设备如何处理不同尺寸晶圆的刷洗需求？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-06-09

设备通过可调节的晶圆承载与固定机构，适应常见晶圆尺寸的更换。刷头驱动系统与晶圆旋转台的速度、位置参数可编程设定，根据不同尺寸晶圆调整运动轨迹与接触区域。设备在换产时可通过配方切换完成调整，减少人工干预时间。

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简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

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