设备如何适应不同刷洗工艺的配方要求？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-06-09

设备控制系统存储多条工艺配方，每条配方可设定刷洗压力、刷头转速、晶圆转速、清洗液种类及流量、处理时间等参数。用户在触摸屏界面选择配方后，设备自动执行各步骤。两腔可协同完成顺序或并行工艺，满足从粗洗到精洗的不同流程需求。

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简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

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