真空固晶炉固晶后，怎么检测气泡率？

广东华芯半导体技术有限公司2025-10-08

需用专业设备检测：一是 X 射线检测仪，穿透 PCB 板观察胶水内部气泡；二是超声扫描显微镜（SAM），通过超声波成像显示气泡分布。检测时计算气泡面积占胶水总面积的比例，行业标准需＜1%。若气泡率超标，需回溯调整真空度（提至 5-20Pa）与固化温度，确保气体彻底排出。检测后需记录数据，优化后续工艺。广东华芯半导体技术有限公司的真空固晶炉可对接检测设备，还提供检测优化建议。

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