电源SGTMOSFET工程技术

屏蔽栅极与电场耦合效应SGTMOSFET的关键创新在于屏蔽栅极（ShieldedGate）的引入。该电极通过深槽工艺嵌入栅极下方并与源极连接，利用电场耦合效应重新分布器件内部的电场强度。传统MOSFET的电场峰值集中在栅极边缘，易引发局部击穿；而屏蔽栅极通过电荷平衡将电场峰值转移至漂移区中部，降低栅极氧化层的电场应力（如100V器件的临界电场强度降低20%），从而提升耐压能力（如雪崩能量UIS提高30%）。这一设计同时优化了漂移区电阻率，使RDS(on)与击穿电压（BV）的权衡关系（BaligasFOM）明显改善复杂电路中，SGT MOSFET 可靠协同不添乱。电源SGTMOSFET工程技术

对于音频功率放大器，SGTMOSFET可用于功率输出级。在音频信号放大过程中，需要器件快速响应信号变化，精确控制电流输出。SGTMOSFET的快速开关速度与低失真特性，能使音频信号得到准确放大，还原出更清晰、逼真的声音效果，提升音频设备的音质，为用户带来更好的听觉体验。在昂贵音响系统中，音乐信号丰富复杂，SGTMOSFET能精细跟随音频信号变化，控制电流输出，将微弱音频信号放大为清晰声音，减少声音失真与杂音，使听众仿佛身临其境感受音乐魅力。在家庭影院、专业录音棚等对音质要求极高的场景中，SGTMOSFET的出色表现满足了用户对悦耳音频的追求，推动音频设备技术升级。电源SGTMOSFET工程技术SGT MOSFET：一种创新的沟槽式功率MOSFET，具备更低的导通电阻，性能更加稳定.

SGTMOSFET在中低压领域展现出独特优势。在48V的通信电源系统中，其高效的开关特性可降低系统能耗。传统器件在频繁开关过程中会产生较大的能量损耗，而SGTMOSFET凭借低开关损耗的特点，能使电源系统的转换效率大幅提升，减少能源浪费。在该电压等级下，其导通电阻也能控制在较低水平，进一步提高了系统的功率密度。以通信基站中的电源模块为例，采用SGTMOSFET后，模块尺寸得以缩小，在有限的空间内可容纳更多功能，同时降低了散热需求，保障通信基站稳定运行，助力通信行业提升能源利用效率，降低运营成本。

栅极电荷（Qg）与开关性能优化SGTMOSFET的开关速度直接受栅极电荷（Qg）影响。通过以下技术降低Qg：1薄栅氧化层：将栅氧化层厚度从500Å减至200Å，栅极电容（Cg）降低60%；2屏蔽栅电荷补偿：利用屏蔽电极对栅极的电容耦合效应，抵消部分米勒电荷（Qgd）；3低阻栅极材料，采用TiN或WSi2替代多晶硅栅极，栅极电阻（Rg）减少50%。利用这些工艺改进，可以实现低的QG，从而实现快速的开关速度及开关损耗，进而在各个领域都可得到广泛应用有良好的导通和切换特性，低导通电阻，降低汽车电子系统的导通、切换损耗，提升汽车整体性能。

SGTMOSFET制造：场氧化层生长完成沟槽刻蚀后，紧接着生长场氧化层。该氧化层在器件中起到隔离与电场调控的关键作用。生长方法多采用热氧化工艺，将带有沟槽的晶圆置于高温氧化炉内，温度控制在900-1100℃，通入干燥氧气或水汽与氧气混合气体。在高温环境下，硅表面与氧气反应生成二氧化硅（SiO₂）场氧化层。以100VSGTMOSFET为例，场氧化层厚度需达到300-500nm。生长过程中，精确控制氧化时间与气体流量，保障场氧化层厚度均匀性，其片内均匀性偏差控制在±3%以内。高质量的场氧化层要求无细空、无裂纹，这样才能有效阻挡电流泄漏，优化器件的电场分布，提升SGTMOSFET的整体性能与可靠性。SGT-MOSFET技术则更适用于中低压MOSFET产品，其电压范围在20V至150V，以及-50V至250V之间。电源SGTMOSFET工程技术

传统平面型MOSFET中，源极和漏极区域是横向布局的，栅极在源极和漏极区域的上方，形成一个平面结构。电源SGTMOSFET工程技术

电动汽车的动力系统对SGTMOSFET的需求更为严苛。在48V轻度混合动力系统中，SGTMOSFET被用于DC-DC升压转换器和电机驱动电路。其低RDS(on)特性可降低电池到电机的能量损耗，而屏蔽栅设计带来的抗噪能力则能耐受汽车电子中常见的电压尖峰。例如，某车型的启停系统采用SGTMOSFET后，冷启动电流峰值从800A降至600A，电池寿命延长约15%。随着800V高压平台成为趋势，SGTMOSFET的耐压能力正通过改进外延层厚度和屏蔽层设计向300V-600V延伸，未来有望在电驱主逆变器中替代部分SiC器件，以平衡成本和性能。电源SGTMOSFET工程技术

无锡商甲半导体有限公司成立于2023年8月3日，注册地位于无锡经济开发区太湖湾信息技术产业园1号楼908室。公司专注于功率半导体器件的研发设计与销售，采用Fabless模式开发TrenchMOSFET、IGBT等产品，截至2023年12月，公司已设立深圳分公司拓展华南市场，并获评2024年度科技型中小企业。无锡商甲半导体有限公司利用技术优势，以国内***技术代Trench/SGT产品作为***代产品；产品在FOM性能方面占据***优势，结合先进封装获得的更高电流密度；打造全系列N/P沟道车规级MOSFET，为日益增长的汽车需求助力；打造全系列CSPMOSFET，聚焦SmallDFN封装；未来两年内做全硅基产品线并拓展至宽禁带领域；