作为专为半导体检测设计的红外热点显微镜,它兼具高频、高灵敏度与高分辨率优势。通过周期性电信号激励与相位分析,红外热点显微镜能实时提取微弱红外光谱信号,检测mK级温度变化——这意味着即使是芯片内部0.1mK的微小温差,红外热点显微镜也能捕捉,轻松定位内部发热缺陷的深度与分布。红外热点显微镜的无损检测能力尤为突出。无需破坏器件,红外热点显微镜就能检测功率半导体及IGBT缺陷,涵盖电源电路缺陷、电流泄漏等问题,为器件设计优化与良率提升提供数据支撑。同时,红外热点显微镜适配“设备-算法-应用场景”一体化思路,不仅满足检测精度,更适配产业效率需求。在高可靠性要求、功耗限制严格的器件中,定位内部失效位置。厂家热红外显微镜运动
随着国内半导体产业的快速发展,Thermal EMMI 技术正逐步从依赖进口转向自主研发。国产 Thermal EMMI 设备不仅在探测灵敏度和分辨率上追平甚至超越部分国际产品,还在适配本土芯片工艺、降低采购和维护成本方面展现出独特优势。例如,一些国产厂商针对国内封测企业的需求,对探测器响应波段、样品台尺寸、自动化控制系统等进行定制化设计,更好地适应大批量失效分析任务。同时,本土研发团队能够快速迭代软件算法,如引入 AI 图像识别进行热点自动标注,减少人工判断误差。这不仅提升了检测效率,也让 Thermal EMMI 从传统的“精密实验室设备”走向生产线质量控制工具,为国产芯片在全球竞争中提供可靠的技术支撑。国内热红外显微镜应用在半导体行业高度集成化趋势加速、制程工艺持续突破的当下,热红外显微镜是失效分析领域得力工具。
热红外显微镜在半导体IC裸芯片的热检测中具有不可替代的作用。裸芯片内部结构高度精密、集成度极高,即便是微小的热异常,也可能影响性能甚至引发失效,因此精确的热检测至关重要。
依托非接触式成像原理,热红外显微镜能够清晰呈现芯片工作过程中的热分布与温度变化,快速定位热点区域。这些热点往往源于电路设计缺陷、局部电流过大或器件老化等问题。通过对热点检测与分析,工程师能够及时发现潜在故障风险,为优化芯片设计和改进制造工艺提供有力依据。
此外,热红外显微镜还能精确测量裸芯片内部关键半导体结点的温度(结温)。结温是评估芯片性能与可靠性的重要指标,过高的结温不仅会缩短器件寿命,还可能影响其长期稳定性。凭借高空间分辨率的成像能力,该技术能够为研发人员提供详尽的热特性数据,帮助制定高效的散热方案,从而提升芯片的整体性能与可靠性。
此外,致晟光电自主研发的热红外显微镜thermal emmi还能对芯片内部关键半导体结点的温度进行监测,即结温。结温水平直接影响器件的稳定运行和使用寿命,过高的结温会加速性能衰减。依托其高空间分辨率的热成像能力,热红外显微镜不仅能够实现结温的精确测量,还能为研发人员提供详尽的热学数据,辅助制定合理的散热方案。借助这一技术,工程师能够在芯片研发、测试和应用各环节中掌握其热特性,有效提升芯片的可靠性和整体性能表现。 致晟光电是一家国产失效分析设备制造商,其在、有两项技术:Thermal 热红外显微镜 和 EMMI 微光显微镜。
thermal emmi(热红外显微镜)是结合了热成像与光电发射检测技术的先进设备,它不仅能捕捉半导体器件因缺陷产生的微弱光信号,还能同步记录缺陷区域的温度变化,实现光信号与热信号的协同分析。当半导体器件存在漏电等缺陷时,除了会产生载流子复合发光,往往还会伴随局部温度升高,thermal emmi 通过整合两种检测方式,可更好地反映缺陷的特性。例如,在检测功率半导体器件时,它能同时定位漏电产生的微光信号和因漏电导致的局部过热点,帮助工程师判断缺陷的类型和严重程度,为失效分析提供更丰富的信息。工程师们常常面对这样的困境:一块价值百万的芯片突然“停工”,传统检测手段轮番上阵却找不到故障点。直销热红外显微镜与光学显微镜对比
Thermal 热红外显微镜属于光学失效定位中的一种,用于捕捉器件中因失效产生的微弱 / 隐性热信号。厂家热红外显微镜运动
热红外显微镜(Thermal EMMI)技术不仅能够实现电子器件故障的精确定位,更在性能评估、热管理优化与可靠性分析等方面展现出独特价值。通过高分辨率的热成像手段,工程师可直观获取器件内部的热点分布图谱,深入分析其热传导特性,并据此优化散热结构设计,有效提升系统的运行稳定性与使用寿命。同时,该技术还能实时监测电路功耗分布及异常发热区域,构建动态热特征数据库,为早期故障预警和预防性维护提供强有力的数据支撑,从源头上降低潜在失效风险,是实现高性能、高可靠电子系统不可或缺的技术手段之一。厂家热红外显微镜运动