它的工作原理可以通俗地理解为 “放大微弱的光”:当半导体器件出现漏电、短路等失效情况时,内部的载流子运动出现异常,就像人群拥挤时发生了混乱,混乱的地方会释放出 “光的小火花”—— 也就是微弱光子。这些 “小火花” 太暗了,人眼和普通显微镜都看不到,但微光显微镜的高灵敏度探测器能像 “超级放大镜” 一样,把这些 “小火花” 收集起来,再转化成我们能看到的图像。在图像中,失效区域的 “亮斑” 越明显,说明故障越严重。它的重要性在半导体行业尤为突出,现在的芯片集成度越来越高,一个指甲盖大小的芯片上可能有上亿个晶体管,一旦某个微小的晶体管出现漏电,整个芯片的性能就会受影响,甚至直接报废。对于静电放电损伤等电缺陷,微光显微镜可通过光子发射准确找到问题。制冷微光显微镜用途
在微光显微镜(EMMI)的操作过程中,对样品施加适当电压时,其失效点会由于载流子加速散射或电子-空穴对复合效应而发射特定波长的光子。这些光子经过光学采集与图像处理后,可形成一张清晰的信号图,用于反映样品在供电状态下的发光特征。随后,通过取消施加在样品上的电压,在无电状态下采集一张背景图,用于记录环境光和仪器噪声。将信号图与背景图进行叠加和差分处理,可以精确识别并定位发光点的位置,实现对失效点的高精度定位。为了进一步提升定位精度,通常会结合多种图像处理技术进行优化。例如,可通过滤波算法有效去除背景噪声,提高信号图的信噪比;同时利用边缘检测技术,突出发光点的边界特征,从而实现更精细的定位与轮廓识别。借助这些方法,EMMI能够对半导体芯片、集成电路及微电子器件的失效点进行精确分析,为故障排查、工艺优化和设计改进提供可靠依据,并提升失效分析的效率和准确性。制冷微光显微镜用途捕捉的信号极其微弱,通常在纳瓦级(nW)甚至皮瓦级(pW),因此对系统的探测能力和信噪比要求极高;
提到电子设备里的芯片,很多人只知道它是主要部件,却很少了解当芯片出现隐性故障时,该用什么工具去 “诊断”—— 微光显微镜(Emmi)就是这样一款 “电子医生”。从科普角度来说,微光显微镜并非我们日常看到的普通光学显微镜,它的本领是捕捉 “看不见的光”。我们知道,当半导体器件比如手机里的芯片、汽车上的 IGBT 模块出现问题,像栅氧层破损导致漏电,或者 PN 结被击穿时,内部会发生一种叫 “载流子复合” 的物理反应,这个过程会释放出极其微弱的光子,这些光子的亮度远低于人眼能感知的范围,普通显微镜根本无法察觉。
苏州致晟光电科技有限公司研发的微光显微镜(Emission Microscopy, EMMI)是一种高灵敏度的光学检测设备,能够捕捉电子器件在通电状态下产生的极微弱光信号。当芯片内部发生电流泄漏、PN结击穿或金属迁移等失效现象时,会释放出极低强度的光子,致晟光电微光显微镜通过高性能光学系统和低噪InGaAs探测器,将这些微光信号精确成像,从而实现非接触、非破坏的缺陷定位。这种技术不仅能够快速识别潜在风险点,还能为后续的失效分析提供可靠依据。技术员依靠图像快速判断。
微光红外显微仪是一种高灵敏度的失效分析设备,可在非破坏性条件下,对封装器件及芯片的多种失效模式进行精细检测与定位。其应用范围涵盖:芯片封装打线缺陷及内部线路短路、介电层(Oxide)漏电、晶体管和二极管漏电、TFT LCD面板及PCB/PCBA金属线路缺陷与短路、ESD闭锁效应、3D封装(Stacked Die)失效点深度(Z轴)预估、低阻抗短路(<10 Ω)问题分析,以及芯片键合对准精度检测。相比传统方法,微光红外显微仪无需繁琐的去层处理,能够通过检测器捕捉异常辐射信号,快速锁定缺陷位置,大幅缩短分析时间,降低样品损伤风险,为半导体封装测试、产品质量控制及研发优化提供高效可靠的技术手段。微光显微镜助力排查复杂电路。制冷微光显微镜用途
高昂的海外价格,让国产替代更具竞争力。制冷微光显微镜用途
在半导体市场竞争日益激烈的当下,产品质量与可靠性成为企业立足的根本。EMMI (微光显微镜)作为先进的检测工具,深刻影响着市场格局。半导体行业企业通过借助 EMMI 能在研发阶段快速定位芯片设计缺陷,缩短产品开发周期;在生产环节,高效筛选出有潜在质量问题的产品,减少售后故障风险。那些率先采用 EMMI 并将其融入质量管控体系的企业,能够以更好、有品质的产品赢得客户信赖,在市场份额争夺中抢占先机,促使行业整体质量标准不断提升。制冷微光显微镜用途