国产微光显微镜成像仪

借助EMMI对芯片进行全区域扫描，技术人员在短时间内便在特定功能模块检测到光发射信号。结合电路设计图和芯片版图信息，进一步分析显示，该故障点位于两条相邻铝金属布线之间，由于绝缘层局部损伤而形成短路。这一精细定位为后续的故障修复及工艺改进提供了可靠依据，同时也为研发团队优化设计、提升芯片可靠性提供了重要参考。通过这种方法，微光显微镜在芯片失效分析中展现出高效、可控且直观的应用价值，为半导体器件的质量保障提供了有力支持。面对高密度集成电路，Thermal EMMI 凭借高空间分辨率，定位微米级热异常区域。国产微光显微镜成像仪

在研发阶段，当原型芯片出现逻辑错误、漏电或功耗异常等问题时，工程师可以利用微光显微镜、探针台等高精度设备对失效点进行精确定位，并结合电路仿真、材料分析等方法，追溯至可能存在的设计缺陷，如布局不合理、时序偏差，或工艺参数异常，从而为芯片优化提供科学依据。

在量产环节，如果出现批量性失效，失效分析能够快速判断问题源自光刻、蚀刻等工艺环节的稳定性不足，还是原材料如晶圆或光刻胶的质量波动，并据此指导生产线参数调整，降低报废率，提高整体良率。在应用阶段，对于芯片在终端设备如手机、汽车电子中出现的可靠性问题，结合环境模拟测试与失效机理分析，可以指导封装设计优化、材料选择改进，提升芯片在高温或长期使用等复杂工况下的性能稳定性。通过研发、量产到应用的全链条分析，失效分析不仅能够发现潜在问题，还能够推动芯片设计改进、工艺优化和产品可靠性提升，为半导体企业在各个环节提供了***的技术支持和保障，确保产品在实际应用中表现可靠，降低风险并提升市场竞争力。 高分辨率微光显微镜24小时服务微光显微镜通过图像处理叠加信号图与背景图，精确定位发光点位置。

在微光显微镜（EMMI）检测中，部分缺陷会以亮点形式呈现，

例如：漏电结（JunctionLeakage）接触毛刺（ContactSpiking）热电子效应（HotElectrons）闩锁效应（Latch-Up）氧化层漏电（GateOxideDefects/Leakage，F-N电流）多晶硅晶须（Poly-SiliconFilaments）衬底损伤（SubstrateDamage）物理损伤（MechanicalDamage）等。

同时，在某些情况下，样品本身的正常工作也可能产生亮点，例如：饱和/工作中的双极型晶体管（Saturated/ActiveBipolarTransistors）饱和的MOS或动态CMOS（SaturatedMOS/DynamicCMOS）正向偏置二极管（ForwardBiasedDiodes）反向偏置二极管击穿（Reverse-BiasedDiodesBreakdown）等。

因此，观察到亮点时，需要结合电气测试与结构分析，区分其是缺陷发光还是正常工作发光。此外，部分缺陷不会产生亮点，如：欧姆接触金属互联短路表面反型层硅导电通路等。

若亮点被金属层或其他结构遮蔽（如BuriedJunctions、LeakageSitesUnderMetal），可尝试采用背面（Backside）成像模式。但此模式只能探测近红外波段的发光，并需要对样品进行减薄及抛光处理。

与市场上同类产品相比，致晟光电的EMMI微光显微镜在灵敏度、稳定性和性价比方面具备优势。得益于公司自主研发的实时图像处理算法与暗噪声抑制技术，设备在捕捉低功耗器件缺陷时依然能保持高清成像。同时，系统采用模块化设计，方便与红外热成像、OBIRCH等其他分析手段集成，构建多模态失效分析平台。这种技术组合不仅缩短了分析周期，也提升了检测准确率。加之完善的售后与本地化服务，致晟光电在国内EMMI设备市场中已形成稳固的品牌影响力，为半导体企业提供从设备交付到技术支持的全链条服务。它不依赖外部激发（如激光或电流注入），而是利用芯片本身在运行或偏压状态下产生的“自发光”；

EMMI的本质只是一台光谱范围广，光子灵敏度高的显微镜。

但是为什么EMMI能够应用于IC的失效分析呢？

原因就在于集成电路在通电后会出现三种情况：

1.载流子复合；2.热载流子；3.绝缘层漏电。

当这三种情况发生时集成电路上就会产生微弱的荧光，这时EMMI就能捕获这些微弱荧光，这就给了EMMI一个应用的机会而在IC的失效分析中，我们给予失效点一个偏压产生荧光，然后EMMI捕获电流中产生的微弱荧光。原理上，不管IC是否存在缺陷，只要满足其机理在EMMI下都能观测到荧光。 Thermal EMMI 无需破坏封装，对芯片进行无损检测，有效定位 PN 结热漏电故障。工业检测微光显微镜内容

技术员依靠图像快速判断。国产微光显微镜成像仪

在不同类型的半导体产品中，EMMI（微光显微镜） 扮演着差异化却同样重要的角色。对于功率半导体，如 IGBT 模块，其工作时承受高电压、大电流，微小的缺陷极易引发过热甚至烧毁。EMMI 能够检测到因缺陷产生的异常光发射，帮助工程师排查出芯片内部的击穿点或接触不良区域，保障功率半导体在电力电子设备中的可靠运行。而在存储芯片领域，EMMI 可用于检测存储单元漏电等问题，确保数据存储的准确性与稳定性，维护整个存储系统的数据安全。国产微光显微镜成像仪