热红外显微镜是半导体失效分析与缺陷定位的三大主流手段之一(EMMI、THERMAL、OBIRCH),通过捕捉故障点产生的异常热辐射,实现精细定位。存在缺陷或性能退化的器件通常表现为局部功耗异常,导致微区温度升高。显微热分布测试系统结合热点锁定技术,能够高效识别这些区域。热点定位是一种动态红外热成像方法,通过调节电压提升分辨率与灵敏度,并借助算法优化信噪比。在集成电路(IC)分析中,该技术广泛应用于定位短路、ESD损伤、缺陷晶体管、二极管失效及闩锁问题等关键故障。Thermal Emission microscopy system, Thermal EMMI是一种利用红外热辐射来检测和分析材料表面温度分布的技术。半导体热红外显微镜销售公司
作为国内少数掌握 Thermal EMMI 技术并实现量产的企业之一,致晟光电在设备国产化和产业落地方面取得了双重突破。设备在光路设计、探测器匹配、样品平台稳定性等关键环节均采用自主方案,确保整机性能稳定且易于维护。更重要的是,致晟光电深度参与国内封测厂、晶圆厂及科研机构的失效分析项目,将 Thermal EMMI 不仅用于研发验证,还延伸至生产线质量监控和来料检测。这种从实验室走向产线的转变,意味着 Thermal EMMI 不再只是少数工程师的“显微镜”,而是成为支撑国产半导体产业质量提升的重要装备。通过持续优化算法、提升检测效率,致晟光电正推动 Thermal EMMI 技术在国内形成成熟的应用生态,为本土芯片制造保驾护航。半导体热红外显微镜平台热红外显微镜范围:探测波长通常覆盖 2-25μm 的中长波红外区域,适配多数固体、液体样品的热辐射特性。
随着国内半导体产业的快速发展,Thermal EMMI 技术正逐步从依赖进口转向自主研发。国产 Thermal EMMI 设备不仅在探测灵敏度和分辨率上追平甚至超越部分国际产品,还在适配本土芯片工艺、降低采购和维护成本方面展现出独特优势。例如,一些国产厂商针对国内封测企业的需求,对探测器响应波段、样品台尺寸、自动化控制系统等进行定制化设计,更好地适应大批量失效分析任务。同时,本土研发团队能够快速迭代软件算法,如引入 AI 图像识别进行热点自动标注,减少人工判断误差。这不仅提升了检测效率,也让 Thermal EMMI 从传统的“精密实验室设备”走向生产线质量控制工具,为国产芯片在全球竞争中提供可靠的技术支撑。
微光红外显微仪是一种高灵敏度的失效分析设备,可在非破坏性条件下,对封装器件及芯片的多种失效模式进行精细检测与定位。其应用范围涵盖:芯片封装打线缺陷及内部线路短路、介电层(Oxide)漏电、晶体管和二极管漏电、TFT LCD面板及PCB/PCBA金属线路缺陷与短路、ESD闭锁效应、3D封装(Stacked Die)失效点深度(Z轴)预估、低阻抗短路(<10 Ω)问题分析,以及芯片键合对准精度检测。相比传统方法,微光红外显微仪无需繁琐的去层处理,能够通过检测器捕捉异常辐射信号,快速锁定缺陷位置,大幅缩短分析时间,降低样品损伤风险,为半导体封装测试、产品质量控制及研发优化提供高效可靠的技术手段。在高可靠性要求、功耗限制严格的器件中,定位内部失效位置。
热点区域对应高温部位,可能是发热源或故障点;等温线连接温度相同点,能直观呈现温度梯度与热量传导规律。目前市面上多数设备受红外波长及探测器性能限制,普遍存在热点分散、噪点多的问题,导致发热区域定位不准,图像对比度和清晰度下降,影响温度分布判断的准确性。而致晟设备优势是设备抗干扰能力强,可有效减少外界环境及内部器件噪声影响,保障图像稳定可靠;等温线明显,能清晰展现温度相同区域,便于快速掌握温度梯度与热传导情况,提升热特性分析精度,同时成像效果大幅提升,具备更高的空间分辨率、温度分辨率及对比度,可清晰呈现细微细节,为分析提供高质量的图像支持。热红外显微镜原理基于物体红外辐射定律,利用探测器接收微观区域热辐射并转化为电信号分析。制冷热红外显微镜品牌排行
热红外显微镜仪器采用抗干扰设计,可减少外界环境因素对微观热观测结果的影响,保障数据可靠。半导体热红外显微镜销售公司
热红外显微镜的分辨率不断提升,推动着微观热成像技术的发展。早期的热红外显微镜受限于光学系统和探测器性能,空间分辨率通常在几十微米级别,难以满足微观结构的检测需求。随着技术的进步,采用先进的红外焦平面阵列探测器和超精密光学设计的热红外显微镜,分辨率已突破微米级,甚至可达亚微米级别。这使得它能清晰观察到纳米尺度下的温度分布,例如在研究纳米线晶体管时,可精细检测单个纳米线的温度变化,为纳米电子器件的热管理研究提供前所未有的细节数据。半导体热红外显微镜销售公司