EMMI 的技术基于半导体物理原理,当半导体器件内部存在缺陷导致异常电学行为时,会引发电子 - 空穴对的复合,进而产生光子发射。设备中的高灵敏度探测器如同敏锐的 “光子猎手”,能将这些微弱的光信号捕获。例如,在制造工艺中,因光刻偏差或蚀刻过度形成的微小短路,传统检测手段难以察觉,EMMI 却能凭借其对光子的探测,将这类潜在问题清晰暴露,助力工程师快速定位,及时调整工艺参数,避免大量不良品的产生,极大提升了半导体制造的良品率与生产效率。使用微光显微镜,可大幅提升故障点确定精度。红外光谱微光显微镜联系人

Thermal(热分析/热成像)指的是通过红外热成像(如ThermalEMMI或热红外显微镜)等方式,检测芯片发热异常的位置。通常利用的是芯片在工作时因电流泄漏或短路而产生的局部温升。常用于分析如:漏电、短路、功耗异常等问题。EMMI(光发射显微成像EmissionMicroscopy)是利用芯片在失效时(如PN结击穿、漏电)会产生微弱的光发射现象(多为近红外光),通过光电探测器捕捉这类自发光信号来确定失效点。更敏感于电性失效,如ESD击穿、闩锁等。半导体失效分析微光显微镜备件微光显微镜降低了分析周期成本,加速问题闭环解决。

对于半导体研发工程师而言,排查失效问题往往是一场步步受阻的过程。在逐一排除外围电路异常、生产工艺缺陷等潜在因素后,若仍无法定位问题根源,往往需要依赖芯片原厂介入,借助剖片分析手段深入探查芯片内核。然而现实中,由于缺乏专业的失效分析设备,再加之芯片内部设计牵涉大量专有与保密信息,工程师很难真正理解其底层构造。这种信息不对称,使得他们在面对原厂出具的分析报告时,往往陷入“被动接受”的困境——既难以验证报告中具体结论的准确性,也难以基于自身判断提出更具针对性的质疑或补充分析路径。
Thermal和EMMI是半导体失效分析中常用的两种定位技术,主要区别在于信号来源和应用场景不同。Thermal(热红外显微镜)通过红外成像捕捉芯片局部发热区域,适用于分析短路、功耗异常等因电流集中引发温升的失效现象,响应快、直观性强。而EMMI(微光显微镜)则依赖芯片在失效状态下产生的微弱自发光信号进行定位,尤其适用于分析ESD击穿、漏电等低功耗器件中的电性缺陷。相较之下,Thermal更适合热量明显的故障场景,而EMMI则在热信号不明显但存在异常电性行为时更具优势。实际分析中,两者常被集成使用,相辅相成,以实现失效点定位和问题判断。微光显微镜具备非破坏性检测特性,减少样品损耗。

芯片制造工艺复杂,从设计到量产的各个环节都可能出现缺陷。失效分析作为测试流程的重要部分,能拦截不合格产品并追溯问题根源。微光显微镜凭借高灵敏度的光子探测技术,可捕捉芯片内部因漏电、热失控等产生的微弱发光信号,定位微米级甚至纳米级的缺陷。这能帮助企业快速找到问题,无论是设计中的逻辑漏洞,还是制造时的材料杂质、工艺偏差,都能及时发现。据此,企业可针对性优化生产工艺、改进设计方案,从而提升芯片良率。在芯片制造成本较高的当下,良率提升能降低生产成本,让企业在价格竞争中更有优势。Thermal EMMI 无需破坏封装,对芯片进行无损检测,有效定位 PN 结热漏电故障。非制冷微光显微镜方案
晶体管漏电点清晰呈现。红外光谱微光显微镜联系人
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