Thermal(热分析/热成像)指的是通过红外热成像(如ThermalEMMI或热红外显微镜)等方式,检测芯片发热异常的位置。通常利用的是芯片在工作时因电流泄漏或短路而产生的局部温升。常用于分析如:漏电、短路、功耗异常等问题。EMMI(光发射显微成像EmissionMicroscopy)是利用芯片在失效时(如PN结击穿、漏电)会产生微弱的光发射现象(多为近红外光),通过光电探测器捕捉这类自发光信号来确定失效点。更敏感于电性失效,如ESD击穿、闩锁等。它不依赖外部激发(如激光或电流注入),而是利用芯片本身在运行或偏压状态下产生的“自发光”;自销微光显微镜厂家电话
例如,当某批芯片在测试中出现漏电失效时,微光显微镜能够准确定位具体的失效位置,为后续分析提供坚实基础。通过该定位信息,工程师可结合聚焦离子束(FIB)切割技术,对芯片截面进行精细观察,从而追溯至栅氧层缺陷或氧化工艺异常等具体问题环节。这一能力使得微光显微镜在半导体失效分析中成为定位故障点的重要工具,其高灵敏度的探测性能和高效的分析流程,为问题排查与解决提供了不可或缺的支撑。
在芯片研发阶段,该设备可以帮助研发团队快速锁定设计或工艺中的潜在隐患,避免资源浪费和试错成本的增加;在量产环节,微光显微镜能够及时发现批量性失效的源头,为生产线的调整和优化争取宝贵时间,降低经济损失;在产品应用阶段,它还能够为可靠性问题的排查提供参考,辅助企业提升产品质量和市场信誉。无论是面向先进制程的芯片研发,还是成熟工艺的量产检测,这套设备凭借其独特技术优势,在失效分析流程中发挥着不可替代的作用,为半导体企业实现高效运转和技术升级提供了有力支持。 微光显微镜成像微光显微镜适配多种探测模式,兼顾科研与工业应用。
在电子器件和半导体元件的检测环节中,如何在不损坏样品的情况下获得可靠信息,是保证研发效率和产品质量的关键。传统分析手段,如剖片、电镜扫描等,虽然能够提供一定的内部信息,但往往具有破坏性,导致样品无法重复使用。微光显微镜在这一方面展现出明显优势,它通过非接触的光学检测方式实现缺陷定位与信号捕捉,不会对样品结构造成物理损伤。这一特性不仅能够减少宝贵样品的损耗,还使得测试过程更具可重复性,工程师可以在不同实验条件下多次观察同一器件的表现,从而获得更的数据。尤其是在研发阶段,样品数量有限且成本高昂,微光显微镜的非破坏性检测特性大幅提升了实验经济性和数据完整性。因此,微光显微镜在半导体、光电子和新材料等行业,正逐渐成为标准化的检测工具,其价值不仅体现在成像性能上,更在于对研发与生产效率的整体优化。
与市场上同类产品相比,致晟光电的EMMI微光显微镜在灵敏度、稳定性和性价比方面具备优势。得益于公司自主研发的实时图像处理算法与暗噪声抑制技术,设备在捕捉低功耗器件缺陷时依然能保持高清成像。同时,系统采用模块化设计,方便与红外热成像、OBIRCH等其他分析手段集成,构建多模态失效分析平台。这种技术组合不仅缩短了分析周期,也提升了检测准确率。加之完善的售后与本地化服务,致晟光电在国内EMMI设备市场中已形成稳固的品牌影响力,为半导体企业提供从设备交付到技术支持的全链条服务。微光显微镜依靠光子信号判定。
与传统的半导体失效检测技术,如 X 射线成像和电子显微镜相比,EMMI 展现出独特优势。X 射线成像虽能洞察芯片内部结构,但对因电学异常引发的微小缺陷敏感度不足;电子显微镜虽可提供超高分辨率微观图像,却需在高真空环境下工作,且对样品制备要求苛刻。EMMI 则无需复杂样品处理,能在芯片正常工作状态下实时检测,凭借对微弱光信号的探测,有效弥补了传统技术在检测因电学性能变化导致缺陷时的短板,在半导体质量控制流程中占据重要地位。凭借高增益相机,微光显微镜可敏锐检测半导体因缺陷释放的特定波长光子。半导体失效分析微光显微镜故障维修
二极管异常可直观定位。自销微光显微镜厂家电话
在利用显微镜发光技术对栅氧化层缺陷进行定位的失效分析中,薄氧化层的击穿现象尤为关键。然而,当多晶硅与阱区的掺杂类型一致时,击穿过程未必伴随空间电荷区的形成,这使其发光机制更具复杂性。具体而言,当局部电流密度升高至一定阈值,会在失效区域形成明显的电压降,进而激发载流子在高场环境下发生散射发光,即产生光发射现象。这种发光通常位于显微镜检测波段范围内,能够被高灵敏度探测器捕捉。值得注意的是,部分发光点存在不稳定性,可能在观察过程中逐渐减弱甚至消失。这一现象的原因在于,局部电流密度持续升高可能导致击穿区域发生微熔化,使局部结构损伤进一步扩大,形成更大面积的导电通道,电流密度因而下降,从而抑制了继续发光的能力。自销微光显微镜厂家电话