EMMI微光显微镜作为集成电路失效分析中的设备,其漏电定位功能是失效分析工程师不可或缺的利器。在芯片可靠性要求日益严苛的当下,微小的漏电现象在芯片运行过程中较为常见,然而这些看似微弱的电流,在特定条件下可能被放大,从而引发器件功能异常,甚至导致整个系统失效。微漏电现象已成为集成电路失效分析中的关键问题之一。尤其在大多数IC器件工作电压处于3.3V至20V区间的背景下,即便是微安级乃至毫安级的漏电流,也足以说明芯片可能已经发生结构性或电性失效。因此,识别漏电发生位置,对追溯失效根因、指导工艺改进具有重要意义。捕捉的信号极其微弱,通常在纳瓦级(nW)甚至皮瓦级(pW),因此对系统的探测能力和信噪比要求极高;无损微光显微镜货源充足

致晟光电的EMMI微光显微镜依托公司在微弱光信号处理领域技术,将半导体器件在通电状态下产生的极低强度光信号捕捉并成像。当器件内部存在PN结击穿、漏电通道、金属迁移等缺陷时,会释放特定波长的光子。致晟光电通过高灵敏度InGaAs探测器、低噪声光学系统与自研信号放大算法,实现了对纳瓦级光信号的高信噪比捕捉。该技术无需破坏样品,即可完成非接触式检测,尤其适合3D封装、先进制程芯片的缺陷定位。凭借南京理工大学科研力量支持,公司在探测灵敏度、数据处理速度、图像质量等方面,帮助客户更快完成失效分析与良率优化。自销微光显微镜成像故障类型与位置被快速识别。

致晟光电产品之一,EMMI (微光显微镜)RTTLIT E20在半导体研发过程中是不可或缺的助力。当研发团队尝试新的芯片架构或制造工艺时,难免会遭遇各种未知问题。EMMI微光显微镜RTTLIT E20 能够实时监测芯片在不同工作条件下的光发射情况,为研发人员提供直观、详细的电学性能反馈。通过分析这些光信号数据,研发人员可以快速判断新设计或新工艺是否存在潜在缺陷,及时调整优化方案,加速新技术从实验室到量产的转化进程,推动半导体行业创新发展。
Obirch(光束诱导电阻变化)与EMMI微光显微镜是同一设备的不同工作模式。当金属覆盖区域存在热点时,Obirch(光束诱导电阻变化)同样能够实现有效检测。两种模式均支持正面与背面的失效定位,可在大范围内快速且精确地锁定集成电路中的微小缺陷点。结合后续的去层处理、扫描电镜(SEM)分析及光学显微镜观察,可对缺陷进行明确界定,进一步揭示失效机理并开展根因分析。因此,这两种模式在器件及集成电路的失效分析领域得到了深入的应用。
对高密度集成电路,微光显微镜能有效突破可视化瓶颈。

EMMI 的技术基于半导体物理原理,当半导体器件内部存在缺陷导致异常电学行为时,会引发电子 - 空穴对的复合,进而产生光子发射。设备中的高灵敏度探测器如同敏锐的 “光子猎手”,能将这些微弱的光信号捕获。例如,在制造工艺中,因光刻偏差或蚀刻过度形成的微小短路,传统检测手段难以察觉,EMMI 却能凭借其对光子的探测,将这类潜在问题清晰暴露,助力工程师快速定位,及时调整工艺参数,避免大量不良品的产生,极大提升了半导体制造的良品率与生产效率。二极管漏电会被显微镜捕捉。微光显微镜原理
二极管异常可直观定位。无损微光显微镜货源充足
微光红外显微仪是一种高灵敏度的失效分析设备,可在非破坏性条件下,对封装器件及芯片的多种失效模式进行精细检测与定位。其应用范围涵盖:芯片封装打线缺陷及内部线路短路、介电层(Oxide)漏电、晶体管和二极管漏电、TFT LCD面板及PCB/PCBA金属线路缺陷与短路、ESD闭锁效应、3D封装(Stacked Die)失效点深度(Z轴)预估、低阻抗短路(<10 Ω)问题分析,以及芯片键合对准精度检测。相比传统方法,微光红外显微仪无需繁琐的去层处理,能够通过检测器捕捉异常辐射信号,快速锁定缺陷位置,大幅缩短分析时间,降低样品损伤风险,为半导体封装测试、产品质量控制及研发优化提供高效可靠的技术手段。无损微光显微镜货源充足