这一技术不仅有助于快速定位漏电根源(如特定晶体管的栅氧击穿、PN结边缘缺陷等),更能在芯片量产阶段实现潜在漏电问题的早期筛查,为采取针对性修复措施(如优化工艺参数、改进封装设计)提供依据,从而提升芯片的长期可靠性。例如,某批次即将交付的电源管理芯片在出厂前的EMMI抽检中,发现部分芯片的边角区域存在持续稳定的微弱光信号。结合芯片的版图设计与工艺参数分析,确认该区域的NMOS晶体管因栅氧层局部厚度不足导致漏电。技术团队据此对这批次芯片进行筛选,剔除了存在漏电隐患的产品,有效避免了缺陷芯片流入市场后可能引发的设备功耗异常、发热甚至烧毁等风险。通过调节探测灵敏度,它能适配不同漏电流大小的检测需求,灵活应对多样的检测场景。直销微光显微镜用户体验

选择国产 EMMI 微光显微镜,既是拥抱技术自主,更是抢占效率与成本的双重优势!致晟光电全本土化研发实力,与南京理工大学光电技术学院深度携手,致力于光电技术研究和产业化应用,充分发挥其科研优势,构建起产学研深度融合的技术研发体系。
凭借这一坚实后盾,我们的 EMMI 微光显微镜在性能上实现更佳突破:-80℃制冷型探测器搭配高分辨率物镜,轻松捕捉极微弱漏电流光子信号,漏电缺陷定位精度与国际设备同步,让每一个细微失效点无所遁形。 IC微光显微镜应用我司设备面对闸极氧化层缺陷,微光显微镜可检测其漏电,助力及时解决相关问题,避免器件性能下降或失效。

挑选适配自身的微光显微镜 EMMI,关键在于明确需求、考量性能与评估预算。先梳理应用场景,若聚焦半导体失效分析,需关注能否定位漏电结、闩锁效应等缺陷产生的光子;性能层面,探测器是主要考察对象,像 -80℃制冷型 InGaAs 探测器,灵敏度高、波长检测范围广(900 - 1700nm),能捕捉更微弱信号;物镜分辨率也重要,高分辨率物镜可清晰呈现微小失效点。操作便捷性也不容忽视,软件界面友好、具备自动聚焦等功能,能提升工作效率。预算方面,进口设备价格高昂,国产设备性价比优势凸显,如部分国产品牌虽价格低 30% 以上,但性能与进口相当,还能提供及时售后。总之,综合这些因素,多对比不同品牌、型号设备,才能选到契合自身的 EMMI 。
InGaAs微光显微镜与传统微光显微镜在原理和功能上具有相似之处,均依赖于电子-空穴对复合产生的光子及热载流子作为探测信号源。然而,InGaAs微光显微镜相较于传统微光显微镜,呈现出更高的探测灵敏度,并且其探测波长范围扩展至900nm至1700nm,而传统微光显微镜的探测波长范围限于350nm至1100nm。这一特性使得InGaAs微光显微镜具备更更好的波长检测能力,从而拓宽了其应用领域。进一步而言,InGaAs微光显微镜的这一优势使其在多个科研与工业领域展现出独特价值。在半导体材料研究中,InGaAs微光显微镜能够探测到更长的波长,这对于分析材料的缺陷、杂质以及能带结构等方面具有重要意义。处理 ESD 闭锁效应时,微光显微镜检测光子可判断其位置和程度,为研究机制、制定防护措施提供支持。

在半导体芯片漏电检测中,微光显微镜为工程师快速锁定问题位置提供了关键支撑。当芯片施加工作偏压时,设备即刻启动检测模式 —— 此时漏电区域因焦耳热效应会释放微弱的红外辐射,即便辐射功率为 1 微瓦,高灵敏度探测器也能捕捉到这一极微弱信号。这种检测方式的在于,通过热成像技术将漏电点的红外辐射转化为可视化热图,再与电路版图进行叠加分析,可实现漏电点的微米级精确定位。相较于传统检测手段,微光设备无需拆解芯片即可完成非接触式检测,既避免了对芯片的二次损伤,又能在不干扰正常电路工作的前提下,捕捉到漏电区域的细微热信号。微光显微镜可搭配偏振光附件,分析样品的偏振特性,为判断晶体缺陷方向提供独特依据,丰富检测维度。直销微光显微镜用户体验
分析低阻抗短路时,微光显微镜可用于未开盖样品测试,还能定位大型 PCB 上金属线路及元器件失效点。直销微光显微镜用户体验
芯片制造工艺复杂精密,从设计到量产的每一个环节都可能潜藏缺陷,而失效分析作为测试流程的重要一环,是拦截不合格产品、追溯问题根源的 “守门人”。微光显微镜凭借其高灵敏度的光子探测技术,能够捕捉到芯片内部因漏电、热失控等故障产生的微弱发光信号,定位微米级甚至纳米级的缺陷。这种检测能力,能帮助企业快速锁定问题所在 —— 无论是设计环节的逻辑漏洞,还是制造过程中的材料杂质、工艺偏差,都能被及时发现。这意味着企业可以针对性地优化生产工艺、改进设计方案,从而提升芯片良率。在当前芯片制造成本居高不下的背景下,良率的提升直接转化为生产成本的降低,让企业在价格竞争中占据更有利的位置。直销微光显微镜用户体验