锁相热红外显微镜方案

致晟光电的热红外显微镜（Thermal EMMI）系列 ——RTTLIT P10 实时瞬态锁相热分析系统，搭载非制冷型热红外成像探测器，采用锁相热成像（Lock-In Thermography）技术，通过调制电信号大幅提升特征分辨率与检测灵敏度，具备高灵敏度、高性价比的突出优势。该系统锁相灵敏度可达 0.001℃，显微分辨率可达 5μm，分析速度快且检测精度高，重点应用于电路板失效分析领域，可多用于适配 PCB、PCBA、大尺寸主板、分立元器件、MLCC 等产品的维修检测场景。 热红外显微镜能透过硅片或封装材料，对半导体芯片内部热缺陷进行非接触式检测。锁相热红外显微镜方案

热红外显微镜（Thermal EMMI) 图像分析是通过探测物体自身发出的红外辐射，将其转化为可视化图像，进而分析物体表面温度分布等信息的技术。其原理是温度高于零度的物体都会向外发射红外光，热红外显微镜通过吸收这些红外光，利用光电转换将其变为温度图像。物体内电荷扰动会产生远场辐射和近场辐射，近场辐射以倏逝波形式存在，强度随远离物体表面急剧衰退，通过扫描探针技术可散射近场倏逝波，从而获取物体近场信息，实现超分辨红外成像。科研用热红外显微镜方案设计热红外显微镜在 SiC/GaN 功率器件检测中，量化评估衬底界面热阻分布。

在失效分析中，零成本简单且常用的三个方法基于“观察-验证-定位”的基本逻辑，无需复杂设备即可快速缩小失效原因范围：

1.外观检查法（VisualInspection）

2.功能复现与对比法（FunctionReproduction&Comparison）

3.导通/通路检查法（ContinuityCheck）

但当失效分析需要进阶到微观热行为、隐性感官缺陷或材料/结构内部异常的层面时，热红外显微镜（Thermal EMMI) 能成为关键工具，与基础方法结合形成更深度的分析逻辑。在进阶失效分析中，热红外显微镜可捕捉微观热分布，锁定电子元件微区过热（如虚焊、短路）、材料内部缺陷（如裂纹、气泡）引发的隐性热异常，结合动态热演化记录，与基础方法协同，从 “不可见” 热信号中定位失效根因。

致晟光电推出的多功能显微系统，创新实现热红外与微光显微镜的集成设计，搭配灵活可选的制冷/非制冷模式，可根据您的实际需求定制专属配置方案。这套设备的优势在于一体化集成能力：只需一套系统，即可同时搭载可见光显微镜、热红外显微镜及InGaAs微光显微镜三大功能模块。这种设计省去了多设备切换的繁琐，更通过硬件协同优化提升了整体性能，让您在同一平台上轻松完成多波段观测任务。相比单独购置多套设备，该集成系统能大幅降低采购与维护成本，在保证检测精度的同时，为实验室节省空间与预算，真正实现性能与性价比的双重提升。热红外显微镜凭借≤0.001℃的温度分辨率，助力复杂半导体失效分析 。

热红外显微镜（Thermal EMMI) 作为一种能够捕捉微观尺度热辐射信号的精密仪器，其优势在于对材料、器件局部温度分布的高空间分辨率观测。

然而，在面对微弱热信号（如纳米尺度结构的热辐射、低功耗器件的散热特性等）时，传统热成像方法易受环境噪声、背景辐射的干扰，难以实现精细测量。锁相热成像技术的引入，为热红外显微镜突破这一局限提供了关键解决方案。通过锁相热成像技术的赋能，热红外显微镜从 “可见” 微观热分布升级为 “可测” 纳米级热特性，为微观尺度热科学研究与工业检测提供了不可或缺的工具。 热红外显微镜凭借高灵敏度探测器，实现芯片微米级红外热分布观察，锁定异常热点 。IC热红外显微镜用户体验

热红外显微镜可捕捉物体热辐射，助力电子元件热分布与散热性分析。锁相热红外显微镜方案

RTTLITP20 热红外显微镜凭借多元光学物镜配置，构建从宏观到纳米级的全尺度热分析能力，灵活适配多样检测需求。Micro广角镜头可快速覆盖大尺寸样品整体热分布，如整块电路板、大型模组的散热趋势，高效完成初步筛查；0.13~0.3x变焦镜头通过连续倍率调节，适配芯片封装体、传感器阵列等中等尺度器件热分析，兼顾整体热场与局部细节；0.65X～0.75X变焦镜头提升分辨率，解析芯片内部功能单元热交互，助力定位封装散热瓶颈；3x～4x变焦镜头深入微米级结构，呈现晶体管阵列、引线键合点等细微部位热分布；8X～13X变焦镜头聚焦纳米尺度，捕捉微小短路点、漏电流区域等纳米级热点的微弱热信号，满足先进制程半导体高精度分析需求。

多段变焦与固定倍率结合的设计，实现宏观到微观热分析平滑切换，无需频繁更换配件，大幅提升半导体失效分析、新材料热特性研究等领域的检测效率与精细度。 锁相热红外显微镜方案

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