致晟光电自主研发的热红外显微镜 Thermal EMMI P系列,是电子工业中不可或缺的精密检测工具,在半导体芯片、先进封装技术、功率电子器件以及印刷电路板(PCB)等领域的失效分析中发挥着举足轻重的作用。
该设备搭载——实时瞬态锁相红外热分析(RTTLIT)系统,并集成高灵敏度红外相机、多倍率可选显微镜镜头、精确高低压源表等技术组件,赋予其三大特性:超凡灵敏度与亚微米级检测精度,可捕捉微弱热信号与光子发射;高精度温度测量能力(锁相灵敏度达0.001℃),支持动态功耗分析;无损故障定位特性,无需破坏器件即可锁定短路、开路等缺陷。凭借技术集成优势,ThermaEMMIP系列不仅能快速定位故障点,更能通过失效分析优化产品质量与可靠性,为半导体制造、先进封装及电子器件研发提供关键技术支撑。 热红外显微镜可对不同材质的电子元件进行热特性对比分析 。锁相热红外显微镜品牌
当电子设备中的某个元件发生故障或异常时,常常伴随局部温度升高。热红外显微镜通过高灵敏度的红外探测器,能够捕捉到极其微弱的热辐射信号。这些探测器通常采用量子级联激光器等先进技术,或其他高性能红外传感方案,具备宽温区、高分辨率的成像能力。通过对热辐射信号的精细探测与分析,热红外显微镜能够将电子设备表面的温度分布以高对比度的热图像形式呈现,直观展现热点区域的位置、尺寸及温度变化趋势,从而帮助工程师快速锁定潜在的故障点,实现高效可靠的故障排查。国内热红外显微镜方案设计热红外显微镜采用先进的探测器,实现对微小热量变化的快速响应 。
近年来,非制冷热红外显微镜价格呈下行趋势。在技术进步层面,国内红外焦平面阵列芯片技术不断突破,像元间距缩小、阵列规模扩大,从早期的 17μm、384×288 发展到如今主流的 12μm 像元,1280 ×1 024、1920 × 1080 阵列规模实现量产,如大立科技等企业推动技术升级,提升生产效率,降低单台设备成本。同时,国产化进程加速,多家本土厂商崛起,如我司推出非制冷型锁相红外显微镜,打破进口垄断格局,市场竞争加剧,促使产品价格更加亲民。
半导体制程已逐步进入 3 纳米及更先进阶段,芯片内部结构日趋密集,供电电压也持续降低,这使得微观热行为对器件性能的影响变得更为明显。致晟光电热红外显微镜是在传统热发射显微镜基础上,经迭代进化而成的精密工具。在先进制程研发中,它在应对热难题方面能提供一定支持,在芯片设计验证、失效排查以及性能优化等环节,都能发挥相应的作用。其通过不断优化的技术,适应了先进制程下对微观热信号检测的需求,为相关研发工作提供了有助于分析和解决问题的热分布信息,助力研发人员更好地推进芯片相关的研究与改进工作。
热红外显微镜通过分析热辐射分布,评估芯片散热设计的合理性 。
非制冷热红外显微镜基于微测辐射热计,无需低温制冷装置,具有功耗低、维护成本低等特点,适合长时间动态监测。其通过锁相热成像等技术优化后,虽灵敏度(通常 0.01-0.1℃)和分辨率(普遍 5-20μm)略逊于制冷型,但性价比更高,。与制冷型对比,非制冷型无需制冷耗材,适合 PCB、PCBA 等常规电子元件失效分析;而制冷型(如 RTTLIT P20)灵敏度达 0.1mK、分辨率低至 2μm,价格高,多用于半导体晶圆等检测。非制冷热红外显微镜在中低端工业检测领域应用较多。区分 LED、激光二极管的电致发光热点与热辐射异常,优化光电转换效率。国内热红外显微镜方案设计
热红外显微镜的动态功耗分析功能,同步记录 100MHz 高频信号下的热响应曲线。锁相热红外显微镜品牌
RTTLIT P10 热红外显微镜在光学配置上的灵活性,可通过多种可选物镜得以充分体现,为不同尺度、不同场景的热分析需求提供精细适配。
Micro 广角镜头擅长捕捉大视野范围的整体热分布,适合快速定位样品宏观热异常区域,如整片晶圆的整体散热趋势观测;0.2X 镜头在保持一定视野的同时提升细节捕捉能力,可用于中等尺寸器件(如传感器模组)的热行为分析,平衡效率与精度;0.4X 镜头进一步聚焦局部,能清晰呈现芯片封装级的热分布特征,助力排查封装缺陷导致的散热不均问题;1X 与 3X 镜头则聚焦微观尺度,1X 镜头可解析芯片内部功能模块的热交互,3X 镜头更是能深入到微米级结构(如晶体管阵列、引线键合点),捕捉纳米级热点的细微温度波动。
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