巴顿ALP102TPH分子泵轴承

某 12 英寸晶圆厂的刻蚀机配备 4 台 2000L/s 分子泵，原采用进口钢制轴承，平均每 6 个月因碳化硅颗粒污染导致轴承失效。新巴顿为其定制的 Si₃N₄陶瓷轴承，配合迷宫式密封结构，使轴承寿命延长至 24 个月。该方案的重心在于：陶瓷球的硬度（HRC78-80）高于碳化硅颗粒，可减少磨粒磨损；密封唇口采用氟橡胶材质，在 150℃工况下仍保持弹性，阻止微粒侵入。改造后，该产线的非计划停机率从 8% 降至 1%，年节约维护成本 120 万元。此外，公司为某 MOCVD 设备配套的轴承，通过在保持架中嵌入石墨自润滑块，解决了金属有机化合物沉积导致的轴承卡死问题，使设备连续运行时间突破 10000 小时。巴顿分子泵轴承：稳定运转，助力科研探索。巴顿ALP102TPH分子泵轴承

推力圆柱滚子轴承的轴向定位技术分子泵转子的轴向定位精度要求通常在 5-10μm，新巴顿的 81100 系列推力圆柱滚子轴承采用研磨级推力垫圈，其平行度误差≤1μm，配合轴向预紧弹簧，可将转子轴向窜动量控制在 3μm 以内。在某电子束蒸发设备中，该轴承与径向支撑轴承形成刚性定位系统，确保蒸发源与基片的间距波动不超过 5nm，满足光学薄膜厚度的精密控制需求。轴承的滚子端面采用圆弧修形（曲率半径 50mm），避免边缘接触导致的应力集中，使轴向载荷均匀分布。浙江C1901HX205Y16DF分子泵轴承巴顿分子泵轴承：定制化解决方案，满足特殊需求。

新巴顿分子泵轴承采用多道密封结构设计，以满足机械行业对真空系统的防泄漏要求。主密封采用迷宫式密封与骨架油封组合，迷宫间隙控制在 0.1-0.3mm，配合真空泵油形成液封，泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s。在半导体薄膜沉积设备中，这种密封系统可防止工艺气体（如 NF₃、Cl₂）渗入轴承腔，避免润滑剂失效。辅助密封采用 O 型圈（材质为氟橡胶 Viton），耐温范围 - 20℃至 + 200℃，在机械启停的温度波动中保持弹性，确保密封面的贴合压力≥0.5MPa。密封系统的整体设计使分子泵轴承在 10⁻⁸Pa 高真空环境下仍能维持稳定的密封性能，为机械工艺的真空度提供可靠保障。

高精度分子泵轴承的制造需突破微米级加工瓶颈。新巴顿采用数控磨床进行套圈滚道加工，其圆度误差控制在 0.5μm 以内，表面粗糙度 Ra≤0.1μm，确保高速运转时的低振动特性（振动加速度≤5m/s²）。陶瓷球的加工更需历经 12 道研磨工序，通过激光测振筛选出圆度误差＜0.1μm 的球体，以降低滚动体不平衡量。装配环节采用恒温恒湿车间（温度 23±1℃，湿度 45±5%），通过真空注脂技术确保润滑脂均匀分布，避免气泡产生。经三坐标测量仪检测，成品轴承的轴向游隙可控制在 5-10μm 的精密区间，满足分子泵转子动平衡 G1 级标准。新巴顿分子泵轴承动态平衡等级 G1.0，有效抑制机械运行振动。

分子泵轴承作为真空系统主要部件，承担着支撑高速旋转转子、确保真空腔体内气流稳定的关键作用。其工作环境通常要求转速高达 10 万 - 15 万转 / 分钟，因此对轴承的动态稳定性、耐磨性能及热传导性提出严苛标准。在半导体制造中，分子泵轴承需维持纳米级制程所需的超高真空（10⁻⁸Pa 以下），若轴承失效将导致腔室污染，直接影响芯片良率。新巴顿（上海）轴承销售有限公司针对此类需求，提供基于陶瓷球与不锈钢套圈的组合方案，通过优化滚道弧度设计，使轴承在高速运转时的温升控制在 30℃以内，满足半导体设备 24 小时连续运行的可靠性要求。巴顿分子泵轴承：高精度加工，确保运转平稳。常州巴顿C102HY17分子泵轴承

多道密封结构，新巴顿分子泵轴承防泄漏，保障机械真空系统稳定。巴顿ALP102TPH分子泵轴承

随着半导体制程向 3nm 以下演进，分子泵轴承正朝超高速、低功耗方向发展。新巴顿研发的 SiC 陶瓷轴承，其热导率（400W/m・K）是氧化锆陶瓷的 10 倍，可将轴承温升控制在 15℃以内，适配 20 万转 / 分钟的超高速分子泵。同时，基于仿生学的表面织构技术，在滚道表面加工微米级凹坑储油槽，使润滑效率提升 30%，有望实现全寿命免维护。此外，公司正在开发的智能轴承，内置微型传感器，可实时传输温度、振动、载荷数据，通过边缘计算实现故障预警，推动分子泵系统向预测性维护升级。这些技术创新将助力我国真空装备在半导体、新能源等领域的国产化突破。巴顿ALP102TPH分子泵轴承