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长宁区巴顿C36STAY39分子泵轴承

来源: 发布时间:2025年07月03日

分子泵轴承选型需综合考量转速、载荷、真空度及环境介质四大要素。以 100L/s 抽速的分子泵为例,其转子重量约 5kg,高速旋转时产生的离心力可达 5000N,需选用接触角为 30° 的角接触球轴承,通过背对背安装方式承受双向轴向载荷。新巴顿提供的选型工具可根据用户参数自动计算:当转速超过 12 万转 / 分钟时,推荐采用 7000 系列角接触轴承,其 Dm・N 值(轴承节圆直径 × 转速)可达 1.2×10⁶mm・r/min,同时需搭配陶瓷球以降低离心力引起的形变。对于含腐蚀性气体的真空环境,316L 不锈钢材质的轴承配合 PTFE 保持架,可耐受氯气、氟化氢等介质的侵蚀。清洁度达 ISO 12/9 级,新巴顿分子泵轴承适配机械高真空洁净环境。长宁区巴顿C36STAY39分子泵轴承

分子泵轴承

随着半导体制程向 3nm 以下演进,分子泵轴承正朝超高速、低功耗方向发展。新巴顿研发的 SiC 陶瓷轴承,其热导率(400W/m・K)是氧化锆陶瓷的 10 倍,可将轴承温升控制在 15℃以内,适配 20 万转 / 分钟的超高速分子泵。同时,基于仿生学的表面织构技术,在滚道表面加工微米级凹坑储油槽,使润滑效率提升 30%,有望实现全寿命免维护。此外,公司正在开发的智能轴承,内置微型传感器,可实时传输温度、振动、载荷数据,通过边缘计算实现故障预警,推动分子泵系统向预测性维护升级。这些技术创新将助力我国真空装备在半导体、新能源等领域的国产化突破。普陀区巴顿C104HY17分子泵轴承巴顿分子泵轴承:精密制造行业的佼佼者。

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新巴顿分子泵轴承的材料选择聚焦机械行业的耐用性需求,采用强度更高的轴承钢(如 GCr15SiMn)或陶瓷材料(Si₃N₄)。轴承钢材质经淬火回火处理,硬度可达 HRC60-65,有效抵抗机械运转中的交变载荷;陶瓷轴承则具备耐高温、抗腐蚀特性,适用于半导体行业含腐蚀性气体的真空环境。以镀膜机为例,当蒸发源温度达 500℃以上时,陶瓷轴承的热稳定性可避免因温升导致的尺寸变形,维持泵体转速在 30000rpm 以上的稳定运行。材料表面的涂层处理(如 DLC 类金刚石涂层)进一步降低摩擦系数至 0.001-0.003,使机械能耗减少 15%-20%,契合机械行业节能降耗的发展趋势。

新巴顿分子泵轴承的清洁度达到 ISO 4406:1999 标准的 12/9 级,满足高真空机械的严苛要求。生产过程中采用超声波清洗(溶剂为异丙醇),配合真空干燥(压力≤10⁻³Pa,温度 60℃),去除表面残留杂质(颗粒尺寸>5μm 的污染物≤10 个 / 100cm²)。在半导体离子注入设备中,这种高清洁度轴承可避免微粒污染晶圆,使工艺良率提升至 99.5% 以上。轴承装配在洁净室(Class 100)中进行,操作人员穿戴无尘服,工具经过紫外消毒,确保分子泵轴承在机械安装后,不会成为真空系统的污染源,维持 10⁻⁸Pa 级别的高真空环境。经严格疲劳测试,新巴顿分子泵轴承可靠性高,使用更安心。

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针对分子泵高速运转时产生的复杂载荷,新巴顿在轴承结构设计上进行深度优化。角接触球轴承采用 28° 接触角的定制化设计,相较于常规 15° 接触角产品,轴向承载能力提升了 60%,能更好地应对 15 万转 / 分钟高速运转时产生的陀螺力矩。通过有限元分析模拟,精确控制轴承的轴向游隙在 8μm 左右,在 - 20℃至 120℃的温度区间内,可自动补偿因热胀冷缩产生的形变,确保转子轴向窜动误差控制在 ±3μm 以内。某科研机构的分子泵设备应用该设计后,系统运行稳定性大幅提升,振动值从原来的 12m/s² 降至 4m/s²,达到 ISO 10816-1 标准 Class 1 的严苛要求,为精密实验提供了可靠保障。极端工况适配设计,新巴顿分子泵轴承满足深海、强磁场等特殊机械需求。巴顿C105HRRY14分子泵轴承中国一级代理

新巴顿分子泵轴承,强度更高材质,低摩擦设计,保障机械高转速稳定运行。长宁区巴顿C36STAY39分子泵轴承

响应机械行业的绿色制造趋势,新巴顿分子泵轴承采用低碳生产工艺。热处理环节使用高效节能的真空炉(能耗≤0.5kWh/kg),较传统箱式炉节能 35%;切削加工采用微量润滑(MQL)技术,切削液用量≤50ml/h,废液处理成本降低 80%。轴承包装采用可循环使用的金属周转箱,替代一次性纸箱,每年减少包装材料消耗 15 吨。在机械环保认证中,该公司的分子泵轴承通过 SGS 的碳足迹认证,碳排放量较行业平均水平低 22%,助力机械整机厂商满足欧盟 CE 绿色认证要求,推动行业可持续发展。长宁区巴顿C36STAY39分子泵轴承