南昌自动聚焦影像仪

半导体晶圆与芯片表面极其脆弱，布满纳米级电路、超薄介质层、金属布线、焊盘与光刻胶图形，传统接触式测量（如探针、卡尺）极易造成表面划伤、压痕、崩边、电路损伤、镀金层脱落，直接导致晶圆报废或芯片功能失效，损失巨大。影像仪的非接触式测量原理—— 通过光学成像与数字图像处理获取尺寸与形态信息，全程无需任何物理接触 —— 从根源上彻底杜绝了接触损伤风险，特别适合超薄晶圆（≤200μm）、软质光刻胶表面、已划片芯片、倒装芯片（Flip Chip）、BGA/QFN 封装器件等高价值、易损伤产品的检测。在半导体封装后道，芯片引脚间距越来越小（如 0.3mm、0.2mm）、引脚密度越来越高，接触式测量极易导致引脚变形或短路，而影像仪可无压力快速测量引脚间距、共面性、平整度、弯曲度、塑封体尺寸与外观缺陷，全程零损伤、零污染，提升良率、降低返工与报废成本。此外，半导体制造对洁净度要求极高（Class 100/1000），接触式工具易带入微粒与杂质，而影像仪可在洁净环境中稳定运行，配合防尘密封、洁净级材质、防静电设计，有效避免二次污染，完全符合半导体工厂的洁净生产规范，成为半导体行业能同时满足 “高精度 + 零损伤 + 高洁净” 三大要求的测量设备。复合式影像仪可兼容光学影像与探针测量，满足平面与深度尺寸一体化检测需求。南昌自动聚焦影像仪

半导体行业检测人员需快速上手设备、高效完成批量检测工作，影像仪凭借人性化操作界面、简单编程流程、一键式操作功能，具备极强的操作便捷性，无需专业技术背景，普通操作人员经简单培训（1-2 天）即可熟练操作，大幅降低使用门槛，适配半导体行业人员流动大、快速上岗的需求。影像仪搭载中文可视化操作软件，界面简洁直观，功能分区清晰，实时显示工件放大图像、测量数据、操作指引，操作人员无需记忆复杂指令，即可快速完成工件放置、对焦、测量、数据查看等操作。编程流程简单便捷，支持 “图形化编程” 与 “模板调用” 两种模式：图形化编程可通过鼠标拖拽绘制测量路径，无需编写代码，10-15 分钟即可完成一件工件的测量编程；模板调用可保存常用工件的测量模板，批量检测时一键调用，无需重复编程，大幅提升批量检测效率。一键式操作功能丰富：一键自动对焦、一键批量测量、一键生成报告、一键数据导出，减少人工操作步骤，降低人为误差。同时设备配备故障自动预警功能，实时显示设备运行状态，出现故障时自动提示故障原因与解决方法，便于操作人员快速排查问题，减少停机时间。南昌自动聚焦影像仪晶圆搬送机多自由度机械臂，灵活完成升降旋转平移全动作。

多传感器融合技术（视频 + 接触式探针 + 激光 + 旋转台）是现代影像仪的重要发展方向，突破传统二维影像仪的测量限制，实现从二维平面测量到三维轮廓、深度、形位公差的多维度综合测量，完美适配半导体工件复杂结构、多参数检测需求。传统二维影像仪能测量平面尺寸，无法检测工件深度、三维轮廓、空间形位公差（如平面度、垂直度、同轴度），而半导体工件（如芯片凸点、BGA 锡球、微孔、引线框架平面度）需三维参数管控，多传感器融合影像仪可有效解决这一难题。视频传感器（光学影像）负责二维平面尺寸、轮廓、缺陷检测；接触式探针（TP-20/TP-200）负责三维深度、平面度、垂直度、微小台阶高度测量，精度达 ±1μm；激光传感器负责非接触式三维轮廓扫描、高度差测量、透明工件深度检测；旋转台负责工件多角度测量，实现全表面无死角检测。在半导体行业，多传感器融合影像仪可一次性完成晶圆三维轮廓平整度、芯片凸点高度与共面度、BGA 锡球三维坐标、微孔深度与内壁轮廓、引线框架平面度等多参数测量，无需更换设备或夹具，大幅简化检测流程，提升检测效率，适配半导体复杂工件的全维度质量管控需求。

自动化与智能化是影像仪适配半导体高速量产的优势，通过集成精密机械传动、自动对焦、编程测量、AI 算法等技术，实现检测流程全自动化，大幅减少人工干预，规避人为误差，提升批量检测效率与数据稳定性。影像仪搭载激光 / 光学自动对焦系统，可快速锁定工件焦点，无需人工手动调节，对焦精度达亚微米级；支持编程测量功能，可保存多品类工件的测量路径、参数模板，批量检测同类型工件时一键调用，无需重复设置参数。在半导体行业，自动化检测价值：半导体生产线产能巨大，单班需检测数千件工件，人工检测效率低下（单件检测耗时超 5 分钟）、误差大、易疲劳漏检。影像仪可实现全自动上下料（搭配自动晶圆加载器，从 FOUP 传送盒取放晶圆）、自动对焦、自动测量、自动数据记录、自动生成检测报告，单班产能可达 1500 件以上，效率提升 75%，数据稳定性提升 2 倍，完美适配半导体高速量产节奏。同时集成 SPC 统计分析功能，可实时生成公差分布图、CPK 值报告，实现制程稳定性实时监控，助力半导体企业快速定位制程异常，优化生产工艺，提升良品率。影像仪软件支持多格式报表生成，可输出 Word Excel 文档满足质检归档报审需求。

影像仪具备强大的多功能测量能力，突破传统测量设备的单一参数限制，可一次性完成几何尺寸、形位公差、轮廓形貌、缺陷检测等多维度参数测量，适配半导体工件结构复杂、参数繁多的检测需求。基础测量功能覆盖长度、角度、直径、半径、弧度、点到线距离、线到线距离等常规参数；进阶功能可实现齿轮齿距、螺纹中径、PCB 线路宽度、不规则轮廓拟合（样条曲线）、孔位位置度、引脚间距一致性等复杂参数测量。在半导体行业，这一特点可实现 “一机多检”：针对晶圆，可测量直径、厚度、边缘轮廓、切割道尺寸、ID 码位置精度；针对芯片，可检测封装尺寸、引脚间距、引脚平整度、焊盘直径、线路导通性；针对引线框架，可测量间距、宽度、位置度、平面度，确保封装焊接，杜绝短路或虚焊风险。无需更换设备即可完成多参数检测，大幅简化半导体检测流程，降低设备采购成本，提升检测效率，适配半导体生产线多品类、多规格工件的批量检测需求。晶圆搬送机出厂高精度标定，到厂即可投入量产无需复杂调试。南昌自动聚焦影像仪

工业影像仪采用花岗岩机台底座，结构稳固抗震性强，长期测量重复精度稳定可靠。南昌自动聚焦影像仪

影像仪并非单一检测设备，而是半导体质量管控全流程的**节点，通过与半导体研发、制程、生产、售后环节的深度融合，实现 “研发验证 - 制程监控 - 生产全检 - 售后追溯” 的闭环质量管控，为半导体产品全生命周期质量提供保障。在研发验证阶段，影像仪用于新型半导体器件（如先进制程芯片、新型封装件）的尺寸参数测量、轮廓分析、缺陷检测，验证设计方案的可行性，优化设计参数，缩短研发周期。在制程监控阶段，影像仪实时监控晶圆切割、芯片封装、PCB 压合等关键制程的参数稳定性，通过 SPC 统计分析预警制程异常，及时调整工艺参数，避免批量不良品产生。在生产全检阶段，影像仪实现半导体工件 100% 全检，快速筛选不合格品，杜绝不良品流入下游环节，保障出厂产品质量一致性。在售后追溯阶段，影像仪记录的全流程检测数据可精细回溯产品生产、检测全过程，快速定位售后质量问题根源，为售后维修、工艺优化提供数据支撑。闭环应用模式让影像仪成为半导体企业质量管控的 “**枢纽”，有效降低不良率、提升生产效率、降低生产成本，助力半导体企业构建完善的质量管控体系，增强市场竞争力。南昌自动聚焦影像仪

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